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一、传感器分类及要求 分类 1、按能量转换情况 能量控制型传感器。需外供电源，只起信号转换，不起能量转换。 能量转换型传感器。不需外加电源，本身起能量转换。 2、按物理工作原理分类（教科书） 按传感器的结构、原理、测量电路及应用讲授。条理较清晰。 同一原理的传感器可测不同的非电量。 一般要求 1、稳定性、可靠性 一般用平均无故障时间来衡量稳定性、可靠性。 在计量、工业生产等领域中稳定性、可靠性至关重要。 2、静态精度 测静态量，传感器精度应满足系统的精度要求。 3、动态性能 测动态量，如响应速度、工作频率、稳定时间等。 4、量程 测量被测量的范围。一般量程越大，精度越低。 集肤效应 集肤效应与激励源频率f、工件的电导率?、磁导率?等有关。频率f越高，电涡流的渗透的深度就越浅，集肤效应越严重。 三、光栅传感器 光栅传感器——利用光栅的莫尔条纹现 象实现几何量测量的装置称为光栅 传感器。 光栅传感器的优点： 高精度、高分辨率和大动态范围，因而 广泛应用于静态测量、动态测量和自动 化等领域。 1光栅基础知识  光栅分类 按其原理和用途可分为物理光栅和计量光栅。 按其透射形式可分为透射式光栅和反射式光栅。 按光栅表面结构不同，可分为幅值光栅（又叫黑 白光栅）和相位光栅（又叫闪耀光栅）。 按光栅应用分类，可分为长光栅和圆光栅。 目前发展了激光全息光栅和偏振光栅等新型光栅 2光栅的结构 所谓光栅，简单地说，由大量等宽等间距的平行狭缝所组成的光学器件称为光栅。 圆光栅有三种形式：一种是径向光，其栅线的延长线通过圆心；第二种是切线光栅，其栅线的延长线与光栅盘中的一个小同心圆相切；第三种是环形光栅，其栅线为一簇等间距同心圆。 3莫尔条纹原理与特点 莫尔条纹具有三个特点： （1）莫尔条纹具有位移放 大作用 （2）莫尔条纹移动与光栅 移动的对应关系 （3）误差减小作用 4光栅传感器的工作原理 光电转换原理 光栅传感器的光电转换系统结构： 1、光源，2、聚光镜，3、主光栅（又称标尺光栅），4、指示光栅，5光敏元件，如图10—4（a）所示。 5莫尔条纹测量位移原理 当光电元件5接收到明暗相间的正弦信号时，根据光电转换原理将光信号转换为电信号。当主光栅移动一个栅距W时，电信号则变化一个周期。 当波形重复到原来的相位和幅值时，相当于光栅移动了一个栅距W，如果光栅相对位移了N个栅距，此时位移x=NW。 6辨向原理 如图10—5所示。当莫尔条纹移动时，两个条纹的亮度变化规律完全一样，相位相差π/2。滞后还是超前完全取决于光栅的移动方向，这种区别运动方向的方法称为位置细分辨向原理。 四、霍尔传感器工作原理 在金属或半导体薄片的两端通过控制电流，并在薄片的垂直方向上施加磁场，则在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势（霍尔电势），这种现象称为霍尔效应。 1霍尔效应原理 2霍尔元件的结构和基本电路 五、电容式传感器 电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容量的一种传感器。结构简单、高分辨力、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作，这是它独特优点。随着集成电路技术和计算机技术的发展，促使它扬长避短，成为一种很有发展前途的传感器。 1 基本原理与结构类型 一、基本原理 2输出特性 变极距型电容传感器 空气介质变极距型（a单一式） 电容与极板的关系 * 3、根据输入物理量（用途）分类 同一被测物理量可用不同种传感器测量。这样分类目的是使读者（工程技术人员）有针对性地查阅所需的传感器。一般工程书籍及参考书、手册按此类方法分类。 4、按输出信号的性质分类 模拟式传感器和数字式传感器。 电涡流效应演示 二、电涡流传感器 由法拉第电磁感应原理可知：一个块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作用切割磁力线运动时，导体内部会产生一圈圈闭合的电流，这种电流叫电涡流，这种现象叫做电涡流效应。根据电涡流效应制作的传感器称电涡流传感器; 电涡流式传感器最大的特点是能够对位移、厚度、表面、温度、速度、应力、材料损伤等被测量进行非接触测量。 形成电涡流必须具备两个条件： ① 存在交变磁场 ② 导电体处于交变磁场中 一、工作原理 把一个扁平线圈置于金属导体附近，当线圈中通以交变电流I1时，线圈周围空间产生交变磁场H1，当金属导体靠近交变磁场中时，导体内部就会产生涡流I2，这个涡流同样产生反抗H1的交变磁场H2 。 涡流线圈结构虽然简单，但要定量分析是很困难的，可根据实际情况建立一个模