不同镀层微探针注入对聚酰亚胺表面电荷影响.pdfVIP

☆★☆ 第十三届全国工程电介质学术会议论文集 ☆★☆ 不同镀层微探针注入对聚酰亚胺表面电荷的影响 theSurface of films Study ChargePolyimideby Force withDifferent Coating Microscope Tip 孙志L2，韩柏L2，李振凯L2，王暄L2，雷清泉1，2 (1哈尔滨理工大学电气与电子工程学院，哈尔滨150080； 2工程电介质及其应用教育部重点实验室，哈尔滨150080) 摘要：利用不同金属镀层微探针的电场力显微镜在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜的表面电荷生成特性进 行研究．采用EFM的导电探针在聚酰亚胺薄膜表面注入电荷，并对微纳米区域产生的电荷进行表征，结果表 明不同金属镀层的微探针对聚酰亚胺薄膜上电荷注入效果不同．采用铂铱合金、钴铬合金二种不同镀层的 微探针。由于不同金属之间功函数。的差别导致肖特基势垒的不同，进而影响了微探针对电荷的注入效 果．该研究为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成、发展机理提供了一个新的研究方法和途径． 关键词：电场力显微镜；表面电荷；金属功函数；肖特基效应 电场力显微镜(ElectrostaticForce 1引言 Microscope， EFM)是利用微小的导电探针对样品表面进行扫 随着纳米复合新型绝缘介质的发展，其在多种 描，以获得样品表面形貌特征以及探针与样品相互 老化因素下的时效老化的机理与预测预防理论及 静电力作用的信息．因其具有分辨率高(可达原子水 方法的研究是电气工程及高电压绝缘领域共同面 平分辨率)，样品准备简单，受工作环境限制少， 对的基础科学问题。这迫切需要我们对纳米复合新 功能多样化等优点，国内外已经将EFM应用到微纳 型绝缘介质的显微结构特性与宏观性相互关联关 米尺度下材料表面电荷的研究工作中。中科院的赵 系及电荷运输特性行为等开展系统深入的研究。因 慧斌等建立了基于EFM的绝缘材料表面电荷微纳 此，对聚合物薄膜进行测试，了解材料的结构和性 尺度测量系引5】【6】，可以模拟室外紫外线照射情况， 能，同时对理解聚合物电老化机理和绝缘材料的合 以及各种非腐蚀性气体环境；S．Morita等人利用 成改性提供一定参考【11。 EFM在Si02／Si材料中实现了电荷的注入以及电荷 绝缘聚合物表面电荷的积累与电荷转移与绝 扩散研究，发现正负电荷的注入／扩散过程并不一致 缘材料的老化有重要的相关性。以往对其的研列2叫 F】；J．T．Jones等人在Ce02／Si／Ce02／Si(1l1)结构中 多是在宏观条件下进行，为了进一步揭示聚合物绝 实现了电荷的存储181；VictoriaAlbrecht等人利用 缘材料表面电荷的成因，特性及规律，需要对微观 尺度下的电介质材料展开研究。 与环境湿度的关系[9-11】；作剥121也利用电场力显微 镜研究了耐电晕聚酰亚胺薄膜的表面电荷生成与 ．294— ☆★☆髦十三届全国工程电介质学术台嫂论文集☆★☆ 扩散特性厦其与无机纳米成分之间的关系 ，《位置，注入电荷时候的偏压％。分剐为10V、5V、 本文利用电场力显微镜(EFM