薄膜体声波传感器及其读出电路进展.pdfVIP

第37卷第2期 压 电 与 声 光 Vo1．37No．2 2015年O4月 PIEZOELECTRICSb-ACOUST00PTICS Apr．2015 文章编号 ：1004—2474(2015)02—0187—06 薄膜体声波传感器及其读出电路进展 高 杨 。，何婉婧 ，李君儒 ，黄振华 ，蔡 洵。 (1．中国工程物理研究院 电子工程研 究所 ，四川绵阳 621999；2．西南科技大学 信息工程学院，四川绵阳 621010； 3．重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室 ，重庆 400044) 摘 要 ：薄膜体声波谐振器 (FBAR)具有高灵敏度 、高工作频率 ，低功耗 ，小尺寸及制造工艺 Ic兼容的特点，使 其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于 FBAR的传感器，如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋 白质探测 器、气体传感器 、水银离子探测器和微区质量探测器 ，与采用其他微 电子机械系统的同类传感器相 比，已取得 了更 好的传感性能。该文综述了FBAR传感器的进展，特别是 FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频 读出电路；提出了采用六端 口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成 电路或低温 共烧陶瓷工艺制备的六端 口网络构建集成 FBAR传感器的原创设想 。 关键词 ：薄膜体声波谐振器 ；传感器 ；换能器 ；微机 电系统(MEMS)；读 出电路 ；六端 口反射计 中图分类 号 ：TN405；TP212．1 文献标识码 ：A FBAR Sensorsand TheirRead-outCircuits-aReview ofStatus GAOYang ，HEWanjing ，LIJunru ，HUANGZhenhua ，CAIXun。 (1．InstituteofElectronicEngineering，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621999，China； 2．SchoolofInformationEngineering，SouthwestUniversityofScienceandTechnology，M ianyang621010，China； 3．NationalKeyLab．ofFundamentalScienceofMicro／Nano—DeviceandSystemTechnology， ChongqingUniversity，Chongqing400044，China) Abstract：Thehigh sensitivity，high operating frequencies (GHz)，low powerconsumption，smallsizeandIC compatiblefabricationprocessofFBAR makethistechnologyidealforhighperformancetransducersandsensors． FBAR-basedsensorsas，forexample，highsensitivitymasssensors，DNA andproteindetector，gassensor，mercury- iondetector，and localized—massdetectorachieveimproved sensing performancecompared tootherM EMS sensor technologies．TheprimaryfocusofthispaperistosummarizetheFBAR sensortechnologydevelopmentsandthein— vestigationsoftheFBAR high sensitivesensor