关于真空激光减薄薄膜技术的研究.pdfVIP

第 28 卷 　增 刊 真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　学 　报 　　　　　　　 　　　　　　　　　　　 2008 年 5 月 CHINESE J OURNAL OF VACUUM SCIENCE AN TECHNOLOGY 93 　 关 于 真 空 激 光 减 薄 薄 膜 技 术 的 研 究 邵净羽 　王德苗 3 　任高潮 (浙江大学信息学院信 电系 　杭州 　310027) La ser Thinn in g an d Tr immin g of Film s in Vacuum 3 Shao Jingyu ,Wang emiao and Ren Gaochao ( ept . of Informati on Science Elect ronics Engineering , Zheji ang Universit y , Ha ngzhou 31002 7 , China) 　　Abstr act 　A novel technique has been successful developed to thin and trim films with laser ablation in vacuum . In the technique ,the energy density of the pulsed laser beam i s first carefully adj usted ,and then the focused laser beam scans along the surface of the films to be thi nned or trimmed ;and the variations in the film thickness can be monitored with a quartz sensor . In our thinning of quartz slices ,the preliminary result s show that its minimum thinning can be as low as 1159 nm and two slices can be thinned i n j ust one second . It s many advantages i nclude easy operation ,high p recision , high speed ,clean environment and low contamination . 　　Key wor d s 　Laser ,Thinni ng technology ,Thin film ,Quartz crystal resonator 　　摘要 　本文提出了一种新颖的可精确 、快速 、清洁的减薄薄膜的技术 ———真空激光减薄技术 。即指利用激光器发 出的脉 冲激光束聚焦成直径很小的光斑 , 调节到适当的能量密度 ,对真空环境中的薄膜层进行高速扫描 , 从而减薄膜 层 。实验中 ,将 此种技术对石英晶片表面膜层进行减薄 。根据石英晶振谐振 频率与其表面膜层厚度 之间的反比关 系 ,来 间接测量激光对于 石英晶振的膜厚减薄量 。实验证实了真空激光减薄方法的可行性 。膜层减薄厚度最小可达 1519 ! ,对 应频 率改变量 为 12 Hz , 亦即频率改变量可达 2 pp m 以下 。减薄速率可达到每秒 1～2 个石英晶振片 。 关键词 　激光 　减薄 　薄膜 　石英晶体谐振器 ( ) 中图分类