大尺寸、高均匀性氧化物电子薄膜材料应用.pdfVIP

大尺寸、高均匀性氧化物电子薄膜材料及其应用 李言荣 电子科技大学，电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054 摘要：多元氧化物功能材料由于具有铁电、压电、热释电、高K介电、超导、软磁、磁电、光电等特性，因而 在电子器件和系统中得到了广泛应用，是上世纪八十年代以来国内外重点发展的新材料之一。当前，电子信息 系统为了实现体积更小、速度更快和功耗更低，正向微小型化以及单片集成方向快速发展。因此，氧化物功能 材料的薄膜化以及与半导体的集成非常重要。但长期以来，氧化物薄膜材料的大尺寸、高均匀性以及取向的可 控性制约了在器件和系统中的应用。本文采用磁控溅射、激光脉冲沉积以及反应分子束外延等方法，对钇钡铜 氧(YBCO)超导薄膜、钛酸锶钡(BST)铁电薄膜和介电/半导体集成薄膜等三种典型氧化物功能材料进行了 系统研究，解决了氧化物薄膜材料的大尺寸、高均匀性和生长取向等三个共性问题。同时，针对特殊电子装备 的应用特点，开展了这些氧化物电子薄膜材料的小批量、多品种的研制，解决其工程应用中的材料可靠性和一 致性问题。 关键字：电子材料，薄膜技术；氧化物材料；集成生长 Large-areaandhigh-homogeneityoxidethinfilmsandtheirapplications LIYanrong StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices,UniversityofElectronicScienceand TechnologyofChina,Chengdu610054,Sichuan,China Abstract:Multi-componentoxidefunctionalmaterialshavebeenintensivelystudiedandwidelyappliedtoelectronic devicessincetheeightieslastcentury,becausetheyexhibitferroelectricity,piezoelectricity,pyroelectricity,high kdielectricity,magnetism,magnetic-electricity,aswellaselectro-optic,acoustic-opticandnon-linearopticprop erties.Recently,electronicinformationsystemsarequicklydevelopedtofurtherminiaturizationandmonolithicinte grationinordertorealizesmallervolume,highervelocityandlowerpowerconsumption.Forthispurpose,thefab ricationof oxide thin films and the integration with semiconductors is particularly important and impendent.However,thesomeissueswerefoundtohinderthefurtherapplicationinelectronicdevices,forexam ple,large-area,high-homogeneitiesofcompositionandthickness,controllablegrowthorientation.Inthiswork, YBCOhigh-temperaturesuperconductorthinfilms,BSTferroelectricfilmsandintegratedfilmsofdielectric/semi conductor were fabricated by sputtering method.The above-mentioned three typical problems were solved.Additionally,avarietyofsamplesinasmallmass-productionwerefabricatedtomeetthespecialdemandsin electronicdevices,inor