Pt%2fTiO2气敏传感器的可靠性.pdfVIP

Pt／TiO：气敏传感器的可靠性 崔堕量”，冼爱平1，尚建库14 (1沈阳市文化路72号，中国科学院金属研究所，沈阳材料科学国家(联 合)实验室，110016) 2 of Illinoisat W．Green University Urbana-Champaign，1304 St．Urbana，IL61801 采用溶胶一凝胶法制备锐钛矿TiOz，烧结构造出Pt／TiOz，通过在施主气体(1000ppm co)和受主气体(1000ppmO：)不同温度下的敏感性研究，发现Pt／Ti02在同一温度下对 施主和受主气体均有较好的敏感性，通过不同周期下各种气体循环后发现Pt／TiO。材料的 可靠性产生明显差异。最后从研究材料性能的变化直观地给出了Pt／TiO：气敏材料在单一 气体中的高可靠性。 1引言及实验概述 随着现代科学技术的发展，人们使用和接触的气体越来越多，其中某些易燃、易爆、 有毒气体，既危及人身和财产安全，又严藿污染环境。这些都促进了气敏传感器向更高 的方向发展，要求其具有较长的使用寿命和高的可靠性，可以适应在各种苛刻环境下的 使用。关于TiO。气敏元件的很多研究中都集中在传感器的制造工艺，形成条件以及最佳 掺杂条件及比例对其性能的影响，对于Ti02气敏材料在各种气体循环下可靠性的研究不 多。在研究中我们主要以锐钛矿型TiO。为基体，加入少量Pt烧结制备了纳米Pt／T102 气敏陶瓷，通过不同气体测试它们的敏感度差异，在实验中进一步研究Pt／TiO。在受主 气体和施主气体中不同机理。最后通过扫描电镜观察材料性能的变化直观地给出了 Pt／Ti02气敏材料的可靠性。 u Pt／TiOz通过导电银胶与两根中100 In钼丝接触将信号送出测试腔外。实验中用 HEV／LETT—PACKARD 4338B型和Philips蹦2528两种万用表可以根据实际电阻的范围进 行选择。温度通过温控仪和测试腔的热电偶显示读数两组控制，±3℃。气体进入测试腔 的流速可以通过计算机进行控制。进行升温之前。机械泵预抽，通入高纯Nz(99．999％)数 分钟后开始升温。实验中所用气体为1000ppm02／N2。1000ppm H。／Ar。 CO／N：，1000ppm 2施主气体和受主气体的对于材料的影响 为了研究对比Pt／Ti02在受主气体和施主气体中的不同可靠性，首先我们通过实验给出 了图1，在相同浓度1000ppmOz／N2和1000ppmCOIN,下，根据各个温度的变化，得到了大 体一致的变化趋势，但通过实验发现在各温度下，Pt／TiO：在0：中的敏感性一般都要高 于在cO中的。这从每个温度的不同区域直线的斜率很容易看出[1]。 ‘通讯联系人：崔晓云E-maih xiaoyuncuioim．ac．cn 274 ^1矿一／一 81旷 ／ 若 ／差1r lo ：：二=== 1矿 乒 ——‘ CO／N2‘釉 图1．各种温度下电阻变化Pt／TiOtvs．不同气体的相互美系 3施主气体和受主气体循环对材料可靠性的影响 图2是在不同条件下气体循环后的Pt／TiO。SEM图 图2中，(a)是Pt／Ti02在氢气单一气体中多次持续循环：(b)是Pt／TiO。在氢气单～气 在氢气中的高温循环；从其中也可以确定Pt／TiO,在单一气体中结构可以保持较好的稳定 性[2]，在混合气体r扣