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电子测量与仪器学报 2007年增刊
非线性反演算法在SLAM中的应用
杨立峰王亚非 周鹰 高椿明
(电子科技大学光电信息学院,成都,6l0054)
摘要:在电子科技大学光电声学信息处理研究中心研制成功的激光扫描声学显微镜的基础上,通过对声波在多层媒质中传
播规律的研究,引入了非线性反演算法:为实现算法的稳定性,采用了常见的最小二乘法,结合层析技术得到了样品的层析
图像。实验结果表明;非线性反演算法应用于SLAg系统中,能够得到高分辨率的三维层析声学图像,为判断样品内部缺陷
结构提供依据。
关键字: 激光扫描声学显微镜;反演算法;非线性;超声波
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中图分类号:TB 文献标识码:A
The ofnonlinearinversion toSLAM
application algorithms
Yafei Gao
YangLifengWang ZhouⅥngChunming
and
ofElectronicScience
ofOpto-electricalInformation,University Technology
(College
Abstract:Inordertoobtain ofindividual a onthe
unambiguousimages depthplanes(tomograms)withinspecimen。based
at
LaserAcoustic was ateam the rules
by UESTC,throughtransmitting
Scanning Microscope(SLAM)whichdeveloped discussing
ofacousticwavein mediumsand thenonlinearinversion intoSLAM,the acoustic
multilayer introducing algorithms unambiguous
whichoffercredibledefectsinformationunder surfacehavebeenobtained.Itis availablethatthe
tomography sample very
ofnonlinearinversion tOSLAM.
application algorithms
LaserAcoustic wave
Keywords:ScanningMicroscope(SLAM);inversionalgorithms;nonlinear;ultrasonic
激光扫描声学显微镜(以下称SLAM)作为一种
新型高分辨率的无损检测仪器因其具有实时成像 1 SLAM原理
的优点,已经被美国、德国、俄罗斯、日本、意大
利等国家广泛应用于航空航天、电子、生物医学、 图l是SLAM的原理图。一个由计算机控制的
压电换能
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