双光栅实现半导体激光阵列波长组束.pdfVIP

第 27卷第 4期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol_27，NO．4 2015年 4月 HIGH POW ER LASER AND PARTICLE BEAM S Apr．，2015 双光栅实现半导体激光阵列波长组束 朱占达， 缑 龙， 姜梦华， 惠勇凌， 雷 訇， 李 强 (北京工业大学 激光工程研究院，北京 100124) 摘 要 ： 在波长光束组合基础上 ，用一个光栅和一个准直透镜代替传输透镜 ，可 以有效地减小单个发光 单元光束质量的退化 ，明显地克服相邻发光单元的反馈串扰，实现了较窄线宽的光谱组束输出。采用标准的半 导体激光阵列，连续输 出激光功率 44．8w，电光转换效率最高 38．9 ，光谱线宽为 4．1nm。光束慢轴方 向光 束质量 因子为 11．7，快轴方 向光束质量 因子为 1．37，快慢轴两个方 向都接近单个发光单元光束质量 。 关键词 ： 激光二极管阵列； 波长光束组合 ； 光谱光束组合 ； 光栅 ； 交调 中图分类号 ： TN248．4 文献标志码 ： A doi：10．11884／HPLPB201527．041005 半导体激光器有体积小、电光转换效率高、成本低 、可靠性高、结构简单等优点l1]，因此在生物医疗、通信 、 工业加工 、泵浦源 、激光光源等领域有非常广泛的应用_2]，随着半导体激光器的发展 ，其应用领域将更加广泛。 然而，半导体巴条或阵列固有的结构缺陷，决定了半导体激光器快慢轴光束质量极度不均衡，垂直 PN结的方 向(快轴方 向)发散角大，光束质量好， 因子约为 1；平行于PN结的方 向(慢轴方向)发散角小，光束质量差， 因子约为 2000l3]。非相干合束 中，波长光束组合l4是提高整体光束质量的有效方法 ，组束后光束质量与一 个发光单元 的光束质量相近 ，是实现高功率、高亮度 的有效途径。因此 ，基于光栅一外腔 的半导体激光阵列 (LDA)波长光束组合已经成为新的研究热点。波长光束组合 最早 由美国麻省理工大学 c．C．Cook提 出，并 在实验 中利用两个光纤激光器进行光谱组束 ，实现了光束质量与单个光纤激光器相 同的组合光束 ；B．Chann 等利用特殊结构的单模半导体激光器阵列实现了功率 35w ，两个方 向的光束质量都为 一1．35的光束组 合 ；J．T．Gopinath等 ，实现了功率 20w，光束质量 M2—1．9×10的输 出[]；JunZhang等实现 了连续功率 5O．8w ，光光效率 90．2 ，慢轴光束质量 一10．9的光束组束 ]。这些实验 中，组束输出的线宽较宽，由光 谱线宽的计算公式可知，增长传输透镜的焦距可以减少组束频谱线宽 。但由于光栅的色散作用，具有一定 线宽的光束经过光栅衍射后，光束质量产生退化[9]，传输透镜焦距增加时，导致形成反馈的光斑尺寸大于出射 光斑 的尺寸 ，相邻发光单元之间出现反馈 串扰 ，降低了组束光束的光束质量和组合效率[10-11]。因此，传统光谱 组束结构 中传输透镜的焦距较短，输出的整体线宽较宽 。双光栅结构能够减少经过光栅后的光束质量退化 。 本文在组束结构中，将传输透镜用一个光栅和一个准直镜代替，消除了光束经过光栅衍射后光束质量退 化 ，在保证组束后整体的光束质量和组合效率 的同时 ，实现 了较窄的线宽输出。同时，实现 了腔长的缩短，减小 整体体积 ，提高了组束后的光束质量 。 1 LDA波长光束组合 g 1．1 波长光束组合结构和原理 波长光束组合系统结构如 图 1所示 ，将 LDA放置在 由传输透镜 (柱透镜)、衍射光栅、 外腔镜 (部分输 出耦合镜)三者构成的外腔 中， LDA和衍射光栅分别放置在柱透镜的前后焦 output coupler 平面上 输 出耦合镜垂直放置