顾有松磁控溅射制备的FePtFe多层膜的结构和磁性.pdfVIP

2003年 10月 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 磁控溅射制备的FePt/Fe多层膜的结构和磁性 顾有松，张大勇，展晓元，张跃 北京科技大学材料物理与化学系，邮编 100083 摘要 采用磁控溅射法，在硅基片上生长了FePt单层膜，FePt/Fe多层膜样品系列，并在不同 的温度下进行了热处理。然后用X射线衍射(XRD)，电子能量谱(EDX)和振动样品磁强计(VSM) 对样品的晶结结构，成分和磁学性能进行测量。实验结果表明，溅射态的FePt薄膜是无序相的面 心立方结构(y-FeP0，属于软磁相，经过500℃以上热处理后转变成有序相的四方体结构汀-FePt), 属于硬磁相。本文对于热处理温度，多层膜中FePt层厚度对结构和磁性能的影响进行了系统的研 究，获得了软硬磁相祸合良好的交换弹簧永磁体多层膜。 一、简介 由于Fe-Pt系体现出许多优异的性能和有趣的现象，例如非常高的磁晶各向异性常数 (Ku=7xlO6J/M3)1,高矫顽力 (He2T)，高耐腐性能 有序一无序相变1Z1,INVAR行为131(热膨 胀不变)，磁光Kerr效应等141，在磁光记录介质，高密磁存储介质方面有重要应用前景，因而是近 年来磁学研究中的一个热点。 由软、硬磁性双相构成的复合永磁体中，由于交换弹簧现象(exchangespring)，高娇顽力的 硬磁相和高饱和磁化强度的软磁相通过交换祸合作用，其磁滞回线的形状是单相形的，因而磁积 能可以大大提高151。例如Skomski预言适当交换祸合的exchangespring型单取向Sm2Co7/a-Fe纳 米磁性膜可获得1096kj/m3，是是Nd-Fe-13理论值的两倍。采用多层膜的方法，制备由硬磁相FePt 层和软磁相a-Fe层构成的多层膜可以较好地控制软、硬磁相的比率，界面结构和祸合情况，设计 出高性能的永磁薄膜。 本文将在对于FePt单层膜的研究的基础上，系统研究FePt/Fe多层膜的结构和磁性，以及 FePt层厚度，热处理温度对结构和磁性能的影响。 二、实毅方法 薄膜样品的制备在USThinFilmProductionSS-3200型磁控溅射仪上制备。该设备的本底真 空度为1.5x10-6托，配备三把溅射枪，RF和DC电源各二套，可以溅和射三种靶材。生长速率和 膜厚可以由石英晶体振荡器实时监控。所用硅基片先后在酒精，去离子水和丙酮中进行超声清洗。 FePt薄膜是根据Fe,Pt靶的溅射速率，设定相应的功率后同时溅射。FePt/Fe多层膜样品由FePt 层和Fe层交替沉积来实现。本实验中制备的样品的制备参数如下: 样品名称 FePt层溅射时间(分)Fe层溅射时间(分) 周期数 厚度 (人) FePtFilm 2434 FePt/Fe-3min 1898 FePt/Fe-4min 0 l 2478 FePt/Fe-6min 0 l 2772 所制备的样品在5000C,600℃和700℃进行热处理，升温速率为 100C/分，保温故 l小时， 国家自然科学基金重大项目资助 (批准 219 2003年 10jJ 第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会 北京 真空度1.7xlo、Pa，然后自然冷却。 X射线衍射实验在RigkaoD朋xaZlKw旋转靶x射线衍射仪上进行。成分分析在LEO一4105 扫描电镜上的EDx设备上进行。磁学性能的测量在LDJ%00振动样品磁强计上进行。 三、结果与讨论 1结构分析 ! l 一 ! . ! (a)