HDI板制作过程盲孔内铜层结合力管控监测方法与探讨.pdfVIP

HDI板制作过程盲孔内铜层结合力管控监测方法与探讨.pdf

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孔化与电镀Hole and ProcessingPlating 2014秋季国际PCB技术/信息论坛 HD I板制作过程盲孑L内铜层结合力管控 与监测方法探讨 Code:A-001 Paper 刘建军 陈山东 刘宗德 (深圳市贝加电子材料有限公司,广东深圳518102) 摘要HDI板中,微埋/盲孔内的金属化镀铜层与内层线路铜层的连接可靠性是影响产品 质量的关键因素,并且直接决定了使用HDI电路板的电子产品的整机质量乖寿命。 影响铜层结合可靠性的因素众多,HDI制造过程中的沉铜、电镀工艺是其中的主要 影响因素。文章通过对沉铜、电镀过程的工艺控制、监控和检测方法进行研究, 提供了一种保证微导通孔可靠连接的方法。 关键词 高密度互连扳制作;化学沉铜;电镀铜;盲孔结合力;工艺管控 中图分类号:TN41文献标识码:A onblind·hole forcecontroland Study binding copperlayer methodinHDIboard monitoring productionprocess LIU CHEN LIU Jian-jun Shan—dongZong-de AbstractForHDI connection betweenmicrobuffed/blindhole’Smetalized board,the reliability copper andinner isthe factortoaffectthe of also determines platedlayer copperlayer key qualityproducts,whichdirectly the andservicelifeofentiremachinewhoisassembledwithHDIboard.Thereare factorswhichcan quality many affectthe connection theelectroless and arethe copperlayer reliability,whileplatingcopperelectroplatingprocesses influence onthe anddetectionmethodofelectroless and major factors.Throughstudy technologies platingcopper strivesto a for surethereliableconnectionofmicroviahole. electroplatingprocesses,this

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