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孔化与电镀Hole and
ProcessingPlating 2014秋季国际PCB技术/信息论坛
HD
I板制作过程盲孑L内铜层结合力管控
与监测方法探讨
Code:A-001
Paper
刘建军 陈山东 刘宗德
(深圳市贝加电子材料有限公司,广东深圳518102)
摘要HDI板中,微埋/盲孔内的金属化镀铜层与内层线路铜层的连接可靠性是影响产品
质量的关键因素,并且直接决定了使用HDI电路板的电子产品的整机质量乖寿命。
影响铜层结合可靠性的因素众多,HDI制造过程中的沉铜、电镀工艺是其中的主要
影响因素。文章通过对沉铜、电镀过程的工艺控制、监控和检测方法进行研究,
提供了一种保证微导通孔可靠连接的方法。
关键词 高密度互连扳制作;化学沉铜;电镀铜;盲孔结合力;工艺管控
中图分类号:TN41文献标识码:A
onblind·hole forcecontroland
Study binding
copperlayer
methodinHDIboard
monitoring productionprocess
LIU CHEN LIU
Jian-jun Shan—dongZong-de
AbstractForHDI connection betweenmicrobuffed/blindhole’Smetalized
board,the reliability copper
andinner isthe factortoaffectthe of also determines
platedlayer copperlayer key qualityproducts,whichdirectly
the andservicelifeofentiremachinewhoisassembledwithHDIboard.Thereare factorswhichcan
quality many
affectthe connection theelectroless and arethe
copperlayer reliability,whileplatingcopperelectroplatingprocesses
influence onthe anddetectionmethodofelectroless and
major factors.Throughstudy technologies platingcopper
strivesto a for surethereliableconnectionofmicroviahole.
electroplatingprocesses,this
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