纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性的研究.pdfVIP

第18卷 材料科学与工程 增刊 1．18 Materials Vo ScienceEngineeringSep．2000 纳米晶复合氧化物湿敏元件的特性研究 张彤，董玮，徐宝琨，任辉，王兢，刘国范，高鼎三 (吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室，长春130023) 特性测试后表明：该元件的阻抗．湿度特性良好，电阻范围适中，湿滞小，不需加热清洗。同时研究了 其直流充电．放电特性和交流复阻抗特性，分析了敏感机理。 【关键词】纳米晶相对湿度复阻抗电介质极化 对湿度呈线性关系。在对元件的频率特性、直 1前 言 流特性、交流特性进行了研究。 陶瓷材料由于其良好的热稳定性和化学稳定 2实验 性而得到广泛的应用。由于纳米材料具有巨大的 表面和界面，对外界环境，如：温度、光、湿度、 2．1敏感材料的制备 气体等十分敏感，纳米陶瓷除保持了陶瓷材料的 利用硬脂酸法合成了复合氧化物Bao．5Sro． 共性之外，还具有一些特异性11‘2】。 湿度传感器是能够将不同环境中的湿度信 号转化成电参数(电阻或电容)的一类器件。 陶瓷湿度传感器占应用的湿度传感器的百分之 原粉在600℃空气氛围下焙烧1小时，得到Bao． 六十以上。这类传感器的精度较低，主要存在 的问题是吸湿后脱附困难，因此，常需要加热 清洗才能使其恢复性能。近些年来，研究者们 物是钙钛矿结构，经扫描电子显微镜(TEM) 常合成一些复合氧化体制作成湿度传感器，实 表征，该产物的平均粒度是643纳米。 现免加热清洗，以简化传感器结构，提高其敏 2．2湿敏元件的制作与测试 感性能。Y．H．YEH报道了用常规的Bao5SrosTi03 湿敏元件的结构采用传统的陶瓷平面结构， 掺入K，0制成sandwich结构的湿度传感器，得 到了良好的特性，并讨论了其内部特性舯l。 网印刷技术在其上印制叉指状金电极，面积为 V．Bondarenka报道了用矾酸盐制成共平面型的 湿度传感器【5】o 我们利用硬脂酸法合成了具有纳米尺度的 的粘合剂，用去离子水中研制成浆料，涂敷在洁 Bao。Sro，TiO，材料，将之制作成电阻式的湿敏元 件，经测试表明，该元件室温下在全湿度量程 内均有响应，阻值变化范围大，复阻对数与相 化24小时，待测。 ·751· 湿度标准采用饱和盐湿度发生装置，测试仪 在测试中，我们设计了一种电路，对元件 采用上海产ZL5型智能LCZ测试仪。 进行直流充电和放电，以便考察元件在不同的湿 23测试结果与分析 度条件下，感湿材料内部的导电粒子的行为。图 在测试中，我们发现元件的工作频率是一个 3是元件在85％RH的环境中，对其充放电，元 重要的参数，图l给出了元件在各种不同的测试 件上的电流变化蓝线。当1．0V的直流电压被施 频率下的感湿特性曲线，为了得到线性的阻一湿 加到元件上时，像电介质一样，元件会被极化。 特性曲线，我们选定120Hz，1．0V为测试条件， 其上的电流会从初始的190耻A衰减到一个稳定 这时元件的复阻抗随