飞秒激光微精细加工技术与MEMS动态测试技术.pdfVIP

飞秒激光微精细加工技术 与MEMS动态测试技术 胡小唐，王清月，张国雄，胡晓东，倪晓昌，栗大超 (天津大学精密仪器与光电子工程*㈣300072) 摘要，微纳加工与测试技术是目前最为前沿的研究领域之一．加工技术是微纳科学与技术研究的前提条件，测 试技术则是在微纳科学与技术研究过程中理论发展的依据，促使知识从量变到质变过渡的必然手段。本文将从 飞秒激光微精细加工技术和MEMS动态测试技术两方面的研究工作进行阐述：(1)综述了飞秒激光的特点，剩 用飞秒激光进行微纳米加工的原理及其特色．飞秒激光加工的类型。及其在微机械、微电子和微光学中的应用。 井介绍了我们在飞秒激光微纳加工研究中取得的一些进展：(2)肛Ms测试技术是MEMS基础研究、设计、仿真、 制造及产品质量控制和性能评价的关键环节之一，由于姬惦的动态特性决定了许多M刚s器件的基本性能，材 料属性和机械力学参数以及MEMS器件的可靠性等关键问题也与其密切相关，MEMS动态测试技术具有非常重要 的研究意义，本文提出一种基于计算机视觉和显微干涉的},IEMS的动态测试技术．其中采用模糊图像分析技术实 I觅MEMS器件平面运动幅度的快速测量，结合频闪成像技术，采用块匹配技术和Mirau显微干涉技术分别实现MEMs 器件平面和离面运动的测量。 关键词：屯秒激光，微纳加工，多光于吸收。破坏闽值，计算机视觉，相移显微干涉，MEMS动态测试 微纳加工与测试技术是目前最为前沿的研究领域之一，基于飞秒激光的微精细 加工技术和MEMS测试技术是该领域中重要的两个研究方向。 飞秒激光诞生于上世纪八十年代初…，九十年代后获得突飞猛进的发展“1，并在 物理、化学、生物等基础学科和大的科学工程(如受控激光核聚变)方面获得越来 越广泛的应用”“。特别值得提出的是，由于它脉冲宽度极短、峰值功率高、可以聚 焦到非常小的尺寸，具有去除物质的深度极浅、持续时间短、引起的变形小等特点。 最近几年飞秒激光在微纳米加工方面越来越引起人们的注意。、3，在微机械、微电子、 微光学等多个领域中获得成功应用“。”，。 微机电系统近几年在基础理论研究、器件的设计制造、微系统的集成应用方面 取得了一些重要的进展，但是距离大范围的批量化生产和规模化应用方面还具有一 定的差距。究其原因，缺乏有效的检测手段是主要制约因素之一，不能及时发现和 诊断出微结构或微系统在制造、封装过程中出现的问题以及器件性能方面的不完善， 进面影响产品的质量和制造过程的重复性。因此，加强在微机械的皋4造、封装以及 性能方面开展基础测试理论和关键技术研究是非常重要的。MEMS的测试技术和方法 是微机械技术的重要组成部分，是MEMS设计、仿真、制造及产品质量控制和性能评 价的关键环节之一，它不但为加工过程提供了定性或定量评判，是提高加工质量、 重复性和加工水平的基础保证，也为封装过程提供了有效的监测手段，是发现封装 问题、保障产品质量和提高封装水平的基础，另外，测试技术也是结构或系统性能 评判的基础。由于MEMS具有结构尺寸小、集成度高等特点，传统的检测技术与方法 已不能完全满足需要，因此对精密检测技术提出了新的要求， MEMS微结构三维运 动特征、材料特性、机械力学参数、可靠性与失效机理等关键测试问题基本上都可 通过MEMS几何量和机械量测试技术直接或间接地得以解决，因此，MEMS几何量和 机械量测试技术是MEMS测试领域中的重要基础之一，研究静态参数、动态参数和器 件性能的精密测试理论，开发精度高、简单便捷、成本低的新的检测手段已经成为 MEMS发展的迫切需要。对于微谐振器、微陀螺、微加速度计、光开关等一些具有可 动部件的MEMS器件，其动态特性决定TMEMS器件的基本性能，因此MEMS动态特性 的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位。 目前有许多研究小组正致力于开发MEMS器件的自动表征工具，用于它的动态特 性分析。英国Newcastle大学的JamesS．Burdess等人设计了一种全自动测量系统， 的Matthew R．Hart等人捉出了一种计算机控制的频闪干涉系统[19，20j，用来测量 MEMS结构的离面运动和变形，达到了纳米级精度：美国Sandia国家实验室的Richard S．MuIlet等人将图像分析技术和频闪光源结合起来研究可动MEMS器件的可靠性 表征[24—27]；美国空军