尘埃等高子体中高子输运的蒙特卡罗模拟.pdfVIP

尘埃等离子体中离子输运的蒙特卡罗模拟 孙爱萍蒲薇邱孝明耿曼 (核工业西南物理研究院，成都432信箱，610041) 摘要 本文用蒙特卡罗方法模拟了辉光放电尘埃等离子体的离子输运行为。考虑自治电场， 计算了靶处的离子能量分布和靶附近的离子密度，以及尘粒的密度、电量、直径对它们的 影响。结果表明，当尘粒的密度、电量、直径增加时，离子能量向低能部分转移；当尘粒 的密度、电量增加时，离子密度减少，但当尘粒的直径增大时，靶附近的离子密度却增大。 关键词尘埃等离子体离子输运蒙特卡罗模拟 1．引言 近年来人们利用尘埃等离子体制备钠米材料。半导体集成电路的生产也越来越离不开 片，产生废品。因此尘埃等离子体实验及理论受到极大关注，发表了大量的文章，其研究 主要是有关尘粒充电、受力、尘埃与等离子体的相互作用等。另外，辉光放电，特别是射 频平行板辉光放电很适合作基础实验研究尘埃等离子体。辉光放电等离子体中，尘粒主要 集中于鞘层边缘，阴极电极附近．尘粒一般带负电、星球形[1】，直径变化从几钠米到几毫 米，常见的为O．1一1．0微米．尘粒密度一般为103—108cm。3[2】。在离子注入、镀膜等技术中， 由于鞘层中的离子与尘粒发生碰撞而损失能量，甚至被尘粒收集，从而影响靶处的离子能 量及密度。因此有必要研究鞘层区域尘粒对离子输运的影响。本文中，我们用蒙特卡罗方 法模拟鞘层区域尘粒对离子输运的影响。 2．模型 在时间#o时刻，阴极电极加上负脉冲，则在电子等离子体频率倒数n)：的时间尺度 内，平面靶附近的电子被排斥掉，接着鞘层内的离子在电场作用下加速向靶运动。我们用 333 蒙特卡罗方法跟踪离子的运动。设离子初始位于阴极鞘层边界处(x。0)，在这个位置附 近气体放电具有最大电离率。离子速度遵从麦克斯韦分布，温度等于中性气体温度，由该 分布抽样选取初速度，方向指向阴极。离子在总电场E“(E”I=E。。一Epl，E。是自洽电 场，E。I是外加电压产生的电场)作用下向阴极运动。离子在鞘层运动过程中，可能与中 性原子或尘埃碰撞，接着加速运动，再碰撞，再加速运动，直到到达阴极或被尘埃收集。 然后我们再跟踪另一个离子。在距离△x(△x为古兄，兄是离子的平均自由程)长度内，离 子发生电荷交换、弹性碰撞、库仑散射或被尘粒收集的概率分别为 吃=％％@J％s(刃f ㈩ ‰=％吒Ⅻ@J％s(钏 ㈩ ‰=％‰“屯’％s(口)f ㈩ 匕“=％‰pJ％s(口)l ㈩ 其中占。是离子在位置r+{缸处的能量，n是中性气体密度，％是尘粒密度，目是离子 运动方向与x轴之间的夹角，盯。、盯。∞、盯。f、盯跏分别是电荷交换、弹性碰撞、库 仑散射和尘埃对离子收集的截面。 当离子与中性原子发生电荷交换时，新产生的离子能量由具有中性气体温度的麦克斯 韦分布抽样得出f3，4】。其散射角x相对于原离子轨迹各向同性，郎 Z=，j石 (5) 方位角 妒=屯2万 (6) 这里‘、厂2为0到1之间均匀分布的随机数。电荷交换截面【4，5】 (7) 盯。(西=(59·21-4·61line)×lO。6C／／22 当占0·1 ev时，叮a=69·82×10—16册z2． 对于弹性碰撞，我们使用等质量钢球模型f3，4】 334 (8) 一=g。COS2Z 这里占。，一分别为散射前、后离子能量，散射角Z由下式得出 cosZ=,／i—r3