高温超导窄带滤波器研究.pdfVIP

·茹叫艋仝f卅趔旨薄膜‘，超导I乜J二。≯器件。≯术；：汶沦艾桀· 高温超导窄带滤波器的研究 吴东升邓红斌张朝兴钱迸 (电f部第t六研究所台肥230061) 王小平刘燕 f北京有色金属研究总院北京100088) 摘要：本文介绍r在LaAIO3基片上利用YBCO单面超导薄膜制作高温超导窄带滤波 器的设计、制作过程并给出实验结果。该滤波器在70K时，中心频率为：l16GHz．带宽： 93MHl．带内平坦』挣内最小插损：026dB．同刚实现}}i制冷饥冷却滤波器结构方案。 关键谢：高温超、呼、滤波嚣、制冷机 1．引言 由于高温超导材料具有独特的电阻特性，它在微波领域的应用越来越受到 人们的关注。利用超导薄膜具有极低的表而电阻制作超导滤波器，可有效的降 低插入损耗，提高接收机的性能指标，在军事和通讯领域，特别是通讯领域展 示，广阔的应用前景。目前，国外导体公司(Coductusl、依力诺依斯超导公司 (IllinoisSupercondutorCorp)、超导技术司(SuperconduterTechnologiesInc)、超 了接收滤波器系统(这是一个由六对薄膜HTS滤波器与一个闭循环斯特林制冷 机一体化的系统设计)，该滤波器了系统可提高蜂窝及其他无线通信的性能， 并且这种HTS滤波器弓制冷机一体化的滤波器组件尺寸仅足传统蜂窝空腔式滤 HTS接收系统定单{2I。下面我们介绍～F超导微波窄带滤波器的研究情况。 2．器件的设计与制作 结构实现超导微波窄带滤波器，有效地降低r对超导薄膜面积的要求。根据超 5 mm 导滤波器的性能指标，要求超导薄膜面积：20×25×03，薄膜 6 A，cm Tc88K，Jc10 n均匀性要好。LaAIO，基片切割方向(100)双面抛光，起伏小于01∥m，厚度 0．5ram，整个基”4i一致不超过O．01mm，介电常数要均匀一致，且犬于20。 该发悟式滤波器的设计从选择半波长谐振器平行耦合滤波器开始，引入适 ”’的耦合得fn，为r窄带需要，在输入和输H{端备添nn适当单元以便在滤波器内 部得到合理的阻抗水、F。由于发卡线本身内部耦合导致带宽、中心频率收缩，因 此在设计时Jl}lj以补偿。同时考虑到LaAIO，基”彳10氐温F的分散性藏磐≯些警 纛粤餐譬嚣嚣嚣荨嘉霉意徽蒜黧裂鬟莩掣盛墓 然誊嘉盏荣誉蹴囊嚣赫黧鬈嚣淤’譬辇蒜薹嚣禁薯 的级数和低通原型的参数值，求出各耦合线的奇偶模阻抗，越过迭常纭求fJ{尔市 宽度和缝隙宽度Ⅲ”。 为保证设计精度，必须选 择合适的版图和电路加T方 法及工艺，以满足设计要 求。我们研究比较了不同方 法制作版图的优缺点，选择 了合适的版图制作方法：研 究比较了超导电路加t过程 对超导电性和器件性能的影 响，优化并制定了严格的加 工工艺过程，避免了加_T过