电解转印表面织构的定域性研究.pdfVIP

第9卷 第 2期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．9 No．2 2011年 3月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Mar． 2O11 电解转印表面织构的定域性研究 钱双庆，曲宁松 ，朱 荻，李寒松，曾永彬 南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室，南京 210016 摘 要：研究表明，摩擦副表面织构可以有效地改善表面摩擦学性能．电解转印工艺是加工摩擦副表面织构的有效 途径．以加工阵列微坑为例，从电解转印的定域性角度出发，提出了以微坑腐蚀系数作为电解转印定域性的评价指 标．根据 电场理论，建立了电解转印过程阴阳极间电场理论模型，采用有限元电场分析方法探讨阴阳极间距对 电解 转印过程中阳极表面电场分布的影响．构建电解转印表面织构试验平台，通过试验研究考察 了阴阳极间距和 电解 加工电压对微坑形貌和腐蚀 系数的影响．试验结果表明，阴阳极 间距 由2O m增加到 100 m时，微坑直径 由55 m增加到 130p．m，微坑腐蚀系数由3减小到0．0125，电解转印的定域性降低．加工电压对电解转印定域性有一定 的影响，当其他参数不变，加工电压增加到20V时，微坑腐蚀系数略有下降，微坑轮廓较为清晰． 关键词：表面织构；电解转印；定域性；腐蚀系数 中图分类号：TG662 文献标志码：A 文章编号：1672-6030 2011 02-0127-07 Investigation on LocalizationofElectrochemicalPattern TransferofSurfaceTexturing QIANShuang—qing，QUNing-song，ZHUDi，LIHan—song，ZENGYong—bin JiangsuKeyLaboratoryofPrecisionandMicro-ManufacturingTechnology， NamingUniversityofAeronauticsandAstronautics，Nanjing210016，China Abstract：Ithasbeenidentifiedthatthesurfacetexturingcanimprovetribologieal prope~yandelectro— chemicalpatterntransferisaneffectivewaytogeneratesurfacetexturingonthefrictionalsurfaces ． Inthis paper，theetchfactorwasproposedtoevaluatethelocalizationinthepatterntransferprocess ． Themath— ematicalmodelfortheinterelectrodegapwasestablishedbasedontheelectricfieldtheoryandtheinflu． enceofdifferentinterelectrode gapson the electric field distributionwasanalyzedwith finiteelement method．Theexperimentalsystem wassetupf0relectrochemicalpattern transfer ． Tlieeffectsoftheinter- electrodegapandthemachiningvoltageonthemorphologyandetchfactorofthemicro．．dimplewerein．． vestigatedexperimentally．Theresultsofelectrochemicalexperimentsshow thatthediameterofmicro．． dimplerisesfrom 55txm to130p．m andtheetchfactordecreasesfrom3to0 ． 0125，withdropofthema— chininglocalizationwhentheinterelectrodegapincreasesfrom 20 m to100 m． Themachiningvoltage alsoinfluenceslocalization．Theetchfactordropsalittleandtheprofileofthemicro-dimp1eismuch clearerwhenthevoltageisincreasedto20V． Keywords：surfacetexturing；electrochemicalpatterntransfer；loca