硅基多孔阳极氧化铝模板的制备研究.pdfVIP

第29卷第 1期 湖北民族学院学报 自然科学版 Vo1．29 No．1 2011年 3月 JournalofHubeiUniversityforNationalities NaturalScienceEdition Mar．20l1 硅基多孔阳极氧化铝模板的制备研究 吴国伟 ，汪 晶 ，方小利 ，刘文秋 ，李美亚 ，朱永丹 ’ 1．武汉大学物理科学与技术学院，湖北武汉430072； 2．湖北民族学院信息工程学院，湖北 恩施 445OOO 摘要：利用电子束蒸发在硅衬底上制备AJ膜，并制备硅基 阳极氧化铝 AAO 模板；利用 x射线衍射和扫描 电 子显微镜对模板的结构和形貌进行了表征；利用计算机对阳极氧化电流的实时观测监控了硅基 AAO模板的自组 装过程．优化了制备孔洞规则的高质量硅基阳极氧化铝模板的条件，该模板对进一步研究硅基AAO模板 多铁功能 纳米管线及相应的器件奠定了基础． 关键词 ：多孔氧化铝 AAO 模板 ；硅基 ；SEM；生长机理 中图分类号：TQ153．6 文献标识码：A 文章编号：1008—8423 2011 01一OO28一o4 Researchon PreparationofPorousSilicon-based AnodicAluminum OxideTemplate WU Guo—wei，WANG Jing ，FANGXiao—li，LIUWen—qiu ，LIMei—ya’，ZHUYong—dan’ 1．SchoolofPhysicsandTechnology，WuhanUniversity，Wuhan430072，China； 2．SchoolofInformationEngineering，HubeiUniversityforNationalities，Enshi445000，China Abstract：A1filmsweredepositedonsiliconsubstratebyelectronbeam evaporationmethod，andhtussil— icon-basedanodicaluminumoxidetemplate AAO werepreparedinthefurtherprocessing．Thestruc— tureandsurfacemorphologyofAAO templateswerecharacterizedbyXRD andSEM．Self—organiziation processofAAO templatesweresupervisedhtrough observingtheanodicoxidationcurrentchangeswith timebycomputer．FinaHy，highqualitysilicon-basedAAO templateswerepreparedunderhteoptimized conditions．Th eseresultscanbefoundationsforthepreparationofmultiferrousnano-wiresnadconcerned devicesonsilicon-basedAAO templates． Keywords：porousalumina AAO template；silicon；SEM；growthmechanism 在纳米材料的发展研究过程中，纳米材料的制备技术、表征方法、性能及应用研究成为了当前新材料研 究的重点…．其中纳米结构材料的制备及应用开发研究更是当前新材料和器件研究的重中之重担曲J．要制备 纳米结构材料，最常用和有效的方法是模板法．目前用作制备纳米结构模板的方法主要有纳米孑L阵列阳极氧 化铝膜、多孔硅和有孔的聚合物等 卜．其中多孔阳极氧化铝薄膜凭借其 自我组装能力和六角对称的有序多 孔结构，引起人们的广泛关注．多孔阳极氧化铝薄膜 anodicaluminumoxide，简称AAO 是铝在酸性或弱碱性 电解液中经过阳极氧化的电化学腐蚀产生的，它的口径大小基本一致，成六角对称排列．由于具有高纵横比、 高有序性、纳米级的孑L径、尺寸可调等特点，使其成为一种合成各种金属和半导体纳米线或纳米管的常用模 板 ．由于传统的AAO模板法生成的致密阻挡层导电性差，不能直接用于电化学组装，很难满足实际纳米 材料器件的制备要求．如果这种 自组织结构能被移植到硅基上，并且与传统成熟的硅平面工艺相结合，必能 收稿 日期 ：2010—12—16． 基金项 目：国家 自然科学基金项 目 座机电话号码 ；湖北省教育厅项 目 B座机电话号码 ． 作者简Or：吴国伟 1986一 ，男，硕士研究生，主要从事光电功能材料与器件方面的研究；通讯作者：朱永丹 1