Sm-Fe系薄膜悬臂板磁致伸缩行为的有限元模拟分析.pdfVIP

第 19卷第 10期 中国有色金属学报 2009年 lO月 v01．19No10 TheChineseJournalofNonferrousMetals Oct2009 文章编号：1004．0609(2009)10—1880—06 Sm．Fe系薄膜悬臂板磁致伸缩行为的有限元模拟分析 周白杨，陈梓荣，骆汉彬，毛宏英，李 牛刃 (福州大学 材料科学与工程学院，福州 350108) 摘 要：以离子束溅射沉积(IBSD)法制备的Sm．Fe系超磁致伸缩薄膜悬臂板为研究对象，通过ANSYS有限元分 析法，对超磁致伸缩薄膜／盖玻片衬底悬臂板自由端挠度值的大小进行模拟计算，并模拟 Sm—Fe薄膜、Sm—Fe／Fe 复合膜的内部磁化状态。结果表明：在薄膜与衬底厚度比较小的情况下，悬臂板端点挠度值随薄膜厚度的增加而 线性增加，且与衬底厚度近似成二次抛物线关系，有限元分析结果与实测情况吻合较好；Sm—Fe单层膜内部磁力 线分布较均匀；在Sm．Fe／Fe复合膜中，由于Fe膜的负磁场效应，使Sm—Fe膜内的磁力线分布出现不均匀的现象， 且磁感应强度比Sm．Fe单层膜小。 关键词：Sm．Fe薄膜；离子束溅射；有限元；磁致伸缩 中图分类号：TM27；TB43 文献标识码： A Finiteelementmodelingofmagnet0strictiVebehaviorfor Sm—Fesystem film cantilever ZHOU Bai—yang，CHENZi—rong，LUO Han—bin，MAO Hong—ying，LIRen (CollegeofMaterialsScienceandEngineering，FuzhouUniversity,Fuzhou350108，China) Abstract：Sm—Fesystem giantmagnetostrictivefilmswerepreparedbyionbeam spuRefing．Thebendingpropertyofthe giantmagnetostrictivefilm ／glasssubstratecantileverwasstudiedbyfiniteelementmodeling．Theinternalmagneticstates ofthegiantmagnetostrictivefilmsweresimulated．Thefiniteelementanalysisresultsshow thatthedeflectionisindirect proportiontothefilm thicknessandquadraticparabolatothesubstratethickn esswhenthefilm thicknessismuchless thanthesubstratethickness．Theanalysisresultsarewellcomparabletotheexperimentones．Theinternalmang eticfield ofSm—Fesinglefilm isuniform．InsidetheSm—Fe／Fecompositefilm，becauseofthenegativemang eticeffectofFefilm， theinternalmang eticfieldofSm—Fefilm becomesnonuniform，andthemagneticinductionislessthanthatoftheSm—Fe singlefilm． Keywords：Sm—Fefilm ；ionbeam sputtering；finiteelement；mang etostrictive 微型机电系统(MEMS)的研究和发展兴起于20世 结构材料方面具有重要的地位和很好的应用前景 叫J。 纪 8