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金属学与金属工艺

重 型 机 械 ·21 · 液体静压导轨的仿真和实验模态分析 郝 乐 ,刘一磊 ,郝 瑾 ,马 波 ,成法坤 ,汪 洋 (1.中国重型机械研究院股份公司,陕西 西安 710032; 2.哈尔滨工业大学,黑龙江 哈尔滨 150001) 摘 要:液体静压导轨在超精密机床中有着广泛的应用,其对机床的动态性能有重要的影响,因 此要确定导轨的动态特性。本文对所设计的液体静压导轨进行了仿真和实验模态分析 ,得到了导轨的 固有频率 ,模态阵型及阻尼系数等模态参数,为静压导轨的设计与使用提供参考依据 ,同时也为全面 掌握液体静压导轨的性能与整机建模分析打下了基础。 关键词:液体静压导轨;仿真;实验;模态参数 中图分类号:TG519.3 文献标识码:A 文章编号:1001—196X(2013)03—0021—05 Simulationandmodalanalysisofhydrostaticguideway HAOLe ,LIU Yi—lei,HA0 Jin ,MAbo ,CHENGFa.kun ,WANGYang (1.ChinaNationalHeavyMachineryResearchInstituteCo.,Ltd.,Xi’an710032,China; 2.SchoolofMechatronicsEngineering,HarbinInstituteofTechnology,Harbin150001,China) Abstract:Hydrostaticguidewaysarewidelyusedandhaveagreateffectondynamicparametersofultra—preci— sionmachinetools,SOdynamiccharacteristicsofguidewayhastobeobtained.Simulatedandmodal analysisof thedesignedhydrostaticguidewayweredoneand themodalparametersincludingnature~equency,modal shapesanddampingcoefficientwereobtained,whichprovidedareferenceformasteringthecharacteristics,de— singingandusingthehydrostaticguideway,andlayingafoundationofrmodelinganalysisofwholemachine. Keywords:hydrostaticguideway;simulation;experiment;modalparameter 态性能的同时还应根据工作情况兼顾动态性能, U 日JI吾 特殊情况下动态性能可能成为主要矛盾,并直接 超精密机床的加工性能与动态特性有密切关 关系到整个机床的性能,所以对液体静压导轨进 系,尤其在工作时产生的振动不仅会影响机床动 行动态分析十分必要,而模态分析是动态分析的 态精度和工件的表面质量,而且还会降低生产效 重要部分。此外在超精密机床的液体静压导轨 率和刀具耐用度,甚至会降低机床的使用寿命 , 中,由于各个零件的机加工和部件的组装 中存在 同时产生的噪声对环境有严重影响,因此超精密 误差 ,同时导轨结构在油膜压力下发生变形,使 机床的动态性能成为了研究热点之一 ¨引。在超 得导轨的实际参数与设计值间存在偏差。虽然液 精密机床中,为实现高刚度和大承载力,液体静 压油膜能够均化误差,减小了设计值与实际参数 压

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