掺铝氧化锌（ZAO）透明导电薄膜的研究进展.pdfVIP

掺铝氧化锌(ZAO)透明导电薄膜的研究进展 ／王银玲等 掺铝氧化锌 (ZAO)透明导电薄膜的研究进展 王银玲 。，徐雪青 ，徐 刚 ，何新华 (1 中科院广州能源研究所中国科学院可再生能源与天然气水合物重点实验室，广州 510640 2 华南理工大学材料学院，广州 510640) 摘要 综述了掺铝氧化锌 (zA())透明导电薄膜的国内外研究进展，光学性能与电学特性，各种制备方法及应用 前景。重点介绍了溶胶一凝胶法制备ZAO薄膜的热处理条件、溶胶浓度、陈化时间、加水量以及稳定剂种类和用量等 方面对薄膜结构和性能的影响，并提 出了zA()薄膜的研究关键以及今后的发展方向。 关键词 zA()薄膜 电学光学性能 溶胶 凝胶 应用 DevelopmentandProgressofTransparentConductingZAO ThinFilms W ANG Yinling～，XU Xueqing ，XU Gang ，HE Xinhua (1 KeyI．abofRenewableEnergyandGasHydrate，GuangzhouInstituteofEnergyConversion，Chinese AcademyofScience，Guangzhou510640；2 CollegeofMaterialsScienceandEngineering， SouthChinaUniversityofTechnology，Guangzhou510640) Abstract OpticalandelectricalpropertiesofZAO thinfilmsandthepreparaliontechnologyandapplication prospectarereviewed．TheinfluencesofheattreatmentconditionsofthepreparationofZAOthinfilmsbysol—gelmeth— odsuchastheconcentrationoflhesol，theagingtime，thewatercontentandkindsofstabilizeronthestruclureand propertiesofthinfilmsarediscussed．Thekeyresearchproblemsandthefutureresearchdirectionofthetransparent conductingthinfilm arepresented． Keywords ZAO thinfilms，opticalandelectricalproperties，sol—gel，application 众所周知，应用最多的透明导电氧化物薄膜是锡掺杂铟氧 但电阻率高于 10。Q ·cm。在一定温度下，一些电子获得足够 化物薄膜(IT())，它具有透光率高、导电性好、硬度高等优点，广 的能量，从价带跃迁到导带 ，成为导带的自由电子，但由这种 泛应用于不同的光电器件中。但由于钢为稀有元素，在 自然界 激发产生的平衡载流子的数量很少，所 以纯 ZnO薄膜的导电 中 存少．价格高 ，而且 IT()应用于太阳能电池中时在等离子 性很差，几乎不导电。 体中不够稳定。近几年来，氧化锌 (ZnO)薄膜的研究进展迅速， 在 ZnO薄膜中掺入Al之后得到具有与ZnO薄膜相同结构 它具有优 良的光学电学性能，以及高的化学、力学稳定性 ，使得 的ZAO薄膜 ，热平衡载流子浓度增加，导电性能大幅度提高，并 ZnO薄膜能代替 IT()薄膜应用于平板显示器 电极、气体传感 具有 良好的红外反射性能。如 Granqvist等 采用射频溅射方 器、变阻器等。通过掺杂第Ⅲ主族的元素如铝、硼、铟、镓或者第 法制备了Al掺杂含量达到 2％(原子分数)的ZAO薄膜，当厚 Ⅶ主族元素氟可以降低 Zn()薄