标准硅球直径测量中的光路对准.pdfVIP

第37卷第2期 光电工程 Vbl-37．No．2 2010年 2月 Opto=ElectronicEngineering Feb．20l0 文章编号：1003一．501X(2010)02—0074—06 标准硅球直径测量中的光路对准 康岩辉 ，邾继贵 ，罗志勇2，叶声华 (1．天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津 300072； 2．中国计量科学研究院，北京 100013) 摘要：针对标准单晶硅球直径精密测量的需要，本文在介绍标准硅球直径测量系统原理并分析其光路特点的基础 上，根据建立的数学模型，对激光束斜入射标准板时产生的椭圆千涉图像进行了分析，并对不同入射角度时干涉 环中心点带来的直径测量误差进行 了研究。分析结果显示，在给定的实验条件下，当入射角为 10 rad时，误差 已达6．6nm。提出了一种精确调整光束垂直入射平板的方法，实验结果表明，此方法能够使光束入射角的调整优 于 10rad，满足系统测量的要求。 关键词：光学测量；直径测量；干涉环；椭圆度；激光光束对准 中图分类号：TB921；TH741．1 文献标志码：A doi：10．3969j／．issn．1003—501X．2010．02．014 Bearn AlignmentforDiameterM easurementof theSingleCrystalSiliconSphere KANGYan．．hui，ZHU Ji．．gui，LUO Zhi．．yong ，YE Sheng-hua (1．StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments，TianjinUniversity，Tianjin300072，Chnia； 2．NationalInstituteofMetrology，BeOing100013，Chn／a) Abstract：According to therequirementofprecision diametermeasurementofthesinglecrystalsiliconsphere，hte principleandcharacteristicsofhtemeasuring system werepresented,andmathematicalmodelswereestablishedfor calculatingthed~ticityofconcentricinterferenceringswihtdifferentbeamincidentangles．Furthermore，thediameter measuringerrorsofthefringecenterwerestudiedindifferentincidentnaglesituations．Itisshownthattheerrorcanbeup to6．6nmwhenhteoriginaldistancebetweeninnerfaceoftheetalonplateandtheadjacentsiliconspheresurfaceequals 13．2mm，andhteincidentnagleequals10一rad．Anovelmethodwasproposedofraccuratelyadjustingincidentnagleof laserbeam relativetohteplate．Theexperimentalresultsshow thattheincidentanglecanbelessthan10 radbyapplying