表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究.pdfVIP

维普资讯 第 29卷第4期 光 电工程 Vo1．29，No．4 2002年 8月 G。pto—Electronic En~ineerin Aug，20o2 文章编号：1003—501X (2002)04—0049—04 表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究 崔喜泉 ，吴 兰，章海军 (浙江大学现代光学仪器 国家重点实验室，浙江 杭州 310027) 摘 要：探讨 了表面弹性波马达的工作机理和优化设计。采用具有能量循环功能的表面弹性波 换能器结构 ，提高了表面弹性波马达效率 ，将马达的驱动电压阈值从 IOOV降到了 10V以下。 在频率 lOMHz，峰峰值为 10V的正弦电压激励下，获得振动幅度为20nm的表面弹性波，马达 的无负载速度达到 0．34m／s，最大推动力输 出达到0．06N。 关键词：表面弹性波马达；微执行器；纳米技术；机理分析 中图分类号 ：TM35 文献标识码 ：A Studyonoperatingmechanism andoptimizationdesign f0rsurfaceacousticwavemotor CUIXi—quan，WULan，ZHANGHai-jun (StateKeyLaboratoryofModernOpticalInstrumentation, ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：TheoperatingprincipleandoptimizationdesignforSurfaceAcousticWave(SAW)motor areinvestigated．Th eefficiencyofSAW motorisimprovedwhen ithasthertansducerstructurewith energy circulation function，thusthe drivingvoltage thresholdofhtemotorhasbeen reduced from 100V tolessthan IOV．Thesurfaceacousticwavewith20nm vibrationmagnitudeisobtainedwhenthe motor isexcitedby sinusoidalvoltagewith 10M Hz frequency and 10V peak—tO—peka value．Th e non—loadingspeedoftnemotorisO．34m ／sanditsmaximum drivingforceoutputis0．06N ． Keywords：Surfaceacousticwavemotors：M icroactuator；Nano—technology：M echanism analysis 引 言 随着 【业科学技术的发展，人们开始探索并改造微小世界，纳米技术 (Nano—technology)和微机 电 系统 (MEMS)技术已被各国列为二十一世纪优先发展的重点课题 ，其中微纳米计量和加工技术又是更基 础的技术。可以快速而且精确定位的微执行器是实现微纳米定位的关键部件 ，现在出现 了很多种微执行 器，其 中主要有静 电力、气动力、毛细效应、热膨胀效应和压 电效应 “等几种工作方式。前三种有驱动 力小、定位精度低的缺点：利用热膨胀效应的微执行器则有响应速度慢的缺憾 。直接利用压 电效应，微 执行器的行程一般会受压 电材料的限制：而超声波马达 由于波长的限制不可能微型化 。表面弹性波马 达则克服了以上各种微执行器的劣处，是一种很具前景的微执行器。它可 以直接驱动 目标工作体，省去 了传动系统的功率损耗和传动误差；它的 作频率高 (10MHz以上)．换能器小，符合