补偿器设计中鬼像定量仿真分析.pdfVIP

第39卷第 11期 光电工程 Vb1-39．NO．11 2012年 11月 Opto—ElectronicEngineering Nov,2012 文章编号：1003—501X(2012)1卜0130—04 补偿器设计中鬼像定量仿真分析 于清华 ，，王 敬 ，龚学艺 2，陈凡胜 ，，陈博洋 (1．中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083； 2．红外探测与成像技术重点实验室，上海 200083； 3．国家卫星气象中心，北京 100081) 摘要：针对定性分析方法无法彻底避免鬼像影响检测的现象，在理论分析的基础之上，提 出补偿器鬼像定量仿真 分析方法。借助光学分析软件，在设计阶段彻底避免鬼像影响检测，并结合实例，说明定性分析方法的局限性， 验证定量仿真分析方法的有效性。该分析方法为补偿器的设计分析提供定量分析方法，提高了补偿器研制的成品 率，提高了补偿检验精度，对高精度补偿检验技术具有重要意义。 关键词 ：补偿检验；鬼像；高次非球面 中图分类号：TH703 文献标志码：A doi：10．3969／j．issn．1003-501X．2012．11．020 QuantitativeSimulationforRulingoutGhost ImageduringCompensatorDesign YUQing．hua，，WANGJing，GONGXue．yi，，CHENFan．sheng’，CHENBo．yang (1．ShanghaiInstituteofTechnicalPhysics，CAS,Shanghai200083，China； 2．KeyLaboratoryofInfraredDetectionandlmagingTechnology，Shanghai200083，China； 3．NationalSatelliteMeteorologicalCenter，Be(jing100081，China) Abstract：Qualitativeanalysismethodscannotcompletelyavoidtheeffectfrom theghostofcompensator,thusa quantitativesimulationanalysisisproposedbasedonhtetheoreticalnaalysis．Opticalanalysissoftwareinthedesignstage isusedtocompletelyroleouttheeffectrfom hteghost．Anexampleisaddressedtoillustratehtelimitationsofqualitative analysismethods，andtoverifyhtevalidityofquantitativesimulationna alysis．Thissimulationprovidesaquantitative analysismethodforthecompensatordesignnadanalysistoimprovetheyieldofcompensatordevelopedandtheaccuracy oftesting，whichisimportantofrhigh-precisioninspectiontechniques． Keywords：compensationtest；ghost；high—orderaspheric 0 引 言 高次非球面在光学系统中的应用价值，以及补偿器在高次非球面检验过程中的地位毋容置疑 刮。补偿 器的设计与研制是高次非球面加工检验过程的关键环节。由于补偿器高精度特性，补偿器光学材料