半导体光电结构材料及其应用.pdfVIP

第 5O卷 第 2期 厦 门大学学报 (自然科学版) Vo1．50 NO．2 2011年 3月 JournalofXiamenUniversity (NaturalScience) M ar．2Ol1 半导体光 电结构材料及其应用 李书平，李 成，陈松岩 ，方志来，张保平，吴正云，吴志明， 詹华瀚 ，陈 朝 ，余金 中，王启明，康俊勇 (厦 门大学物理与机 电工程学院，福建 厦门 361005) 摘要 ：半导体光电结构材料广泛应用于信息、照明、交通、能源、医疗、军事等领域．介绍了厦门大学近年来在半导体光 电结构材料研究的进展，着重介绍高A1组分A1GaN、高 In组分 InGaN、GaN基半导体、si基半导体、ZnO基半导体等结 构材料研发 中所取得 的进展及其在大功率 LED、紫外 LED、激光器、探测器、太 阳能 电池等光电器件 中的应用． 关键词 ：GaN；Si；LED；探测器；太阳能电池 中图分类号 ：0472 文献标志码 ：A 文章编号 ：0438—0479(2011)02—0203—07 随着人类社会信息量的飞速增长，以半导体为代 灾探测 、涡轮引擎燃烧效率监测 、可燃气体成分分析和 表的材料和器件迅速发展．半导体材料和器件的结构 生物细胞癌变检测等方面有着广阔的前景 ，具有极高 尺度 日益减小 ，已从微米向纳米尺度过渡 ；电子作为信 的军事和民用价值 ，是近年来国际上光电探测领域的 息的载体已经不能完全适应时代 的要求．光子 由于响 热点 ；太阳能作为一种绿色环保 、可再生能源，是解决 应时间快 ，加上电中性、传输时所受干扰小 ，作为信 息 环境污染和能源危机的重要方式，应用太阳能发电已 载体具有十分显著的优势．目前主要 的半导体光 电材 成为人们的研究热点[4]．我国在光电结构材料 的研制 料有以Si基材料为代表第 1代半导体 ；以GaAs和 已取得一些可喜的进展 ，相关技术取得 了一些重要的 InP基材料为代表第 2代半导体 ；以及 以GaN基新型 突破 ，光电产业 已有相 当的规模 ，形成 了完整的产业 宽带隙材料为代表的第 3代半导体．其相关光 电器件 链 ，正逐步成为经济发展的重要支柱． 广泛用于信息 、照明、交通 、能源、医疗 、军事等领域．特 厦门大学致力于半导体光电结构材料及其应用的 别是 GaN基 LED 自光器件 比一般的白炽灯和荧光灯 研发．近年来在高 Al组分 AlGaN、高 In组分 InGaN、 能耗低、寿命长 ．力Ⅱ上其全 固体 、冷光源、体积小 、光效 GaN基半导体 、Si基半导体 、ZnO基半导体等结构材 高、响应速度快、耐侯性好 、无汞 、无铅、防爆、低压 、废 料研发方面取得了丰硕的成果 ，并将其成功地应用于 弃物少等优点，将取代白炽灯和荧光灯成为照明市场 大功率 LED、紫外 LED、激光器、探测器 、太 阳能电池 的主导，促进 了新兴半导体照明产业 的崛起 ；深紫外 等光 电器件 中． LED具有光子能量高、波长短等特点 ，在高显色指数 白光照明、高密度光学数据存贮、平版印刷领域 ，在杀 1 高 Al组分 AIGaN结构材料 菌消毒 、癌症检测 、皮肤病治疗等 医疗卫生领域 ，在二 恶英 、多氯联苯、农药等污染物快速分解以及水与空气 我们通过对生长氛围的优化 、生长极性的控制 、失 净化等保健和环保等领域，在非视距和短距离保密和 配应力的释放、二维生长的控制等研究和工艺摸索，综 全天候抗干扰通信等军事领域具有广泛的用途口伽；紫 合平衡了各因素对 A1N薄膜平整度与晶体质量的影 外光电探测器由于在国防、紫外天文学、环境监测、火