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2015-08-29 发布于安徽
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声表面波器件研究进展.pdf

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真　空　科　学　与　技　术第 21 卷　第 5 期　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 376 ( ) VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY CHINA 2001 年 9 月　声表面波器件的研究进展李　晖　潘　峰 (清华大学材料科学与工程系　北京　100084) Latest Progress of Surface Acoustic Wave Devices Li Hui ,Pan Feng ( ) Dep artment of M aterials Science and Engineering , Tsinghua University , B eij ing , 100084 　　Abstract 　Recently ,high frequency surface acoustic wave ( SAW) devices have attracted considerable attention because of its many strengths in telecommunication . Much effort has been focussed on developing GHz band SAW filters. The latest progress on SAW devices was re viewed. 　　Key words 　SAW devices ,Piezoelectric film ,Interdigitaltransducer 摘要　声表面波器件作为一种新型的电子器件 ,近年来引起了人们极大的关注 ,在科学研究领域有了较大的进展 ,在现　　代无线通讯领域的应用范围日趋广泛。本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用 ,展望了其今后的发展趋势。关键词　声表面波器件　压电薄膜　叉指换能器 ( ) 中图分类号 :TN 65 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 2001 　　表面波研究始于 1885 年由英国物理学家瑞利 ( ) 叉指换能器 ,就得到了可以直接激励和接收声表 (Lord Rayleigh) 的一篇题为“沿弹性体平滑表面传播面波的换能器。换能器的中心频率 f o 由声表面波的波”的论文[ 1] 。其首次从理论上阐明了除人们早的相速 v 和电极的周期 λ确定 : s 0 已熟知属于声体波的纵波和横波以外 ,还可能存在 f = v / λ