1种用于TPMS的新型环振式数字压力传感器.pdfVIP

第40卷第6期 微电子学 VoL40，No．6 2010年12月 Microelectronics Dec．2010 一种用于TPMS的新型环振式数字压力传感器 杨 场1～，张兆华1，陈伟2，刘理天1，余志平1 (1．清华大学微电子学研究所，北京100084；2．江西凯源科技有限公司，南昌330096) 摘 要： 研制了一种新型环振式数字压力传感器，它可应用于汽车轮胎压力监测报警系统 (TPMS)。采用硅薄膜上的PMOS环形振荡器作为压力敏感元件，两个反方向变化的环振输出信 号通过集成在片内的混频器实现频率相减。该传感器具有准数字输出、温度系数低、灵敏度高以及 制作工艺简单等特点。分析并设计了压力传感器的环形振荡器电路、混频器电路、物理结构。分析 了环形振荡器的频率特性、环形振荡器的谐振频率与压力的关系，以及制作工艺，并制作了样品， 其灵敏度为5．12kHz／Bar。 关键词： 数字式压力传感器；环形振荡器；混频器；轮胎压力监测报警系统 中图分类号：TP212。TN303。TN453文献标识码：A ANew PressureSensorforTPMS DigitalRingOscillating Application YANG Zhaohual，CHENWei2，LIULit；anl，YU Yan91～，ZHANG Zhipin91 (1．Institute J，lc．， ofMicroelectronics·Tsinghua100084，P．R．China；2．JiangxiKysonix University．Beijing 330096，P．R．China) Nanchang Abstract：Anovel sensor oscillators(RO)andmixerwas is digitalpressureusingring presented，whichapplicable fortire sensitiveunitofthisnovel sensorisPMOSoscillator pressuremonitoringsystem(TPMS)．The pressure ring locatedonsiliconmembrane．Therearetwodifferentoscillatorsonthis sensor．The was ring pressure outputsignal achieved ofone oscillatorfromthatoftheother，whichwasrealizedamix— bysubtractingsyntonicfrequencyring by erlocatedonthebulksilicon．The sensorhad as digitalpressure manyadvantages，suchdigitaloutput，lowtemper— ature and fabrication structureandcircuitsof oscillator coeff