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电形成电压波形对表面传导电子发射显示器电学特性的影响1
Effectof WaveformonElectrical
ElectroformingVoltage
CharacteristicsofSurface．．ConductionElectron．．Emitter
Display
王辉 张玉娟 孟令国 刘纯亮 梁海锋
露安交道大学电子物理与器件教育部重点实验室，710049，秀安
接要：电形成工艺是制造表面传导电子发射显示器(SED)黪关键步骤，医此磺究电形成电压波形对
SED电学特性的影响具有重要意义。本文比较了器件电压分别为幅值渐增波形和等幅波形对SED阴极
的电形成过程，发现采用渐增波形时SED阴极的电形成是逐步完成的，而采用等幅波形时SED阴极的
电形成是瞬间完成的。两类波形下，开始电形成时的器件电压均为14V时，结束电形成时的器件电压均
为17v。本文还研究了采用4种不同波形迸行电形成的SED的发射特性。结果表明当器件电压达到20V
时，采用渐增矩形波进行电形成的SED发射电流是采用其他波形进行电形成的SED的2倍，这说明采用
渐增矩形波对SED阴极进行毫形成更肖幂j于电予发射。在溺试电子发射特性的过程中还发现受器件电压
奁予1IV时，采用渐增矩形波进行电形成的SED阴极电阻甥曼小于采用其它电压波形进行电形成的SED
阴极，当器件电压达到20V时这种差别甚至高达10kQ左农。
关键词：表耐传导电子发射显示器，电形成工艺，电形成波形，发射特性’
a role the ofsurface-conductionelectron-emitter
Abstract：Electroforming
processplayskey duringmaking
cathodes。Soitis to theeffectof waveformonelectrical
importantinvestigate electroformingvoltage
characteristicsofsurface-conductionelectron—emitter this electroformingprocess
display(SED)．Inpaper,the
underthewavewi氇incremental wave are resultsshow
and
amplitude wi斑equalamplitudeinvestigated．The
thatthe underthewavewithincremental is the
electroforming amplitudecompletedgradually,but
undertheotherwaveformis the of
instantaneously．Bothvoltagesbeginning
electroforming completed
and ale14Vand characteristicofSED
17V
electroformingendingelectroforming respectively．Emission
electroformedfour waveformsis also emissioncurrentoftheSED
using voltage
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