光强正交调制型位移传感器的数学模型与误差分析.pdfVIP

第23卷第3期 光学精密工程 VoI_23No．3 andPrecision 2015年3月 0ptics Engineering Mar．2015 文章编号 1004—924X(2015)03—0784—10 光强正交调制型位移传感器的 数学模型与误差分析 付 敏1，彭东林1’2*，朱革2，陈锡侯2，昌 驰2 (1．重庆大学机械传动国家重点实验室，重庆400044； 2．重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心，重庆400054) 摘要：针对传统光学位移测量方法对环境要求高和制造精度难以提高等问题，提出了一种以交变光场为测量媒介的新型 线性位移检测方法。基于提出的方法，设计了一种光强正交调制型位移传感器。该方法采用基于光强正交变化的两路 电驻波合成电行波信号，通过对行波信号时间先后的测量实现空间位移的测量。为了深入理解传感器的传感机理，推导 了传感器的测量模型，分析了与传感机理相关的关键因素对测量误差的影响。根据测量原理和测量模型的理论分析，研 制出传感器原理样机，通过实验测试了各种关键因素对测量误差的影响，并进一步优化设计了传感器结构与参数。实验 显示，优化后的传感器在108mm测量范围内的测量精度达到±0．5 ttm，是一种新的无需精细刻划的位移检测方案。 关键词：光电位移传感器；交变光场；线性位移；驻波调制；电行波；误差分析 中图分类号：TP212．14文献标识码：A doi：10．3788／OPE0784 Mathematicalmodelanderror of analysislightintensity modulation sensor orthogonal typedisplacement Chi2 FUMinl，PENG Ge2，CHENXi—hou2，CHANG Dong—lin‘·“，ZHU (1．State Mechanical 400044，China； K倒Laboratoryof Transmission，ChongqingUniversity，Chongqing ResearchCenterMechanical and the 2．Engineering of TestingTechnologyEquipmentof 400054，China) MinistryofEducation，ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing *Correspondi以gauthor，E-mail：pdl@cqut．edu．cn measurementmethodsfor have demandsforthe Abstract：Traditional opticaldisplacementhigher environmentandit isdifficultto the of devices．