化学沉积法中立方相和六方相CdS薄膜的制备及其特性.pdfVIP

第28卷第5期 太阳能学报 Vol：28．No．5 20cr7年5月 ACrAENERGIAESI)IAlUSSINICA Mav．。20cr7 化学沉积法中立方相和六方相CdS薄膜 的制备及其特性 李华维，羊 亿，黄岳文，刘 敏，罗友良 (湖南师范大学物理与信息科学院，长沙410081) 摘要：采用化学沉积法制备了多晶cdS薄膜；利用x射线衍射仪、原子力显微镜、透射光谱以及光电导测试等方 法表征了cdS薄膜的晶体结构、光学特性和电学特性。结果表明：通过改变反应液中c乎+离子浓度(o．002～ 宽度随c矛+离子浓度增大逐渐变大；当c午+离子浓度从0．002—砌·L“增加到0．005-nol·L一时，薄膜呈六方相，浓度 貌、光学特性、电学特性也随C午+离子浓度的增大而有规律的变化。 关键词：Cds；六方相；立方相；化学沉积 中图分类号：0484．1 文献标识码：A 点。四川大学李卫等人在立方结构的CBD-cds薄膜 O 引 言 以不同温度后续热处理会出现六方相方面也做了一 cds为直接带隙半导体，能隙约为2．42eV，目前 J， 广泛用作cd％薄膜太阳电池的n型窗口材料。制 cr离子的掺人也促使晶相由立方相向六方相转化； 备cdS多晶薄膜的方法有近空间升华法、真空蒸发 二是Cd2+离子浓度对沉积Cds薄膜的影响，G．． 法、化学喷雾法、丝网印刷法、电沉积法、溅射法、化 学沉积法与连续离子层吸附反应法等n叫。化学沉 1．O-nol·L一)，Cds薄膜由立方相向六方相转化；三是 积(cBD)法制成的cdS薄膜具有高透射率、光电导 pH值对沉积cdS薄膜的影响【6’7J，浙江大学张辉等 大以及合适的费米能级等优点。影响化学沉积的因 素有沉积温度、沉积时间、溶液的浓度配比、络合剂 膜晶相由立方相向六方相转化。本文利用化学沉积 的种类、pH值等。cds薄膜有六方、立方、正交3种 法制备多晶cds薄膜，通过改变反应液中Cd2+离子 晶相。国内外学者主要在六方相和立方相及其相互 转化做了大量研究nq’10，11]，而六方相的cds薄膜在 90℃)来加快沉积速率，保持溶液pH值为11，观测到 CdR太阳电池的主要光吸收波段具有高透过性、光 cdS薄膜由稳定的六方相向亚稳定的立方相转化， 电导率较大等优势。相对于立方相，六方相的CdS 禁带宽度随Cd2+离子浓度增大逐渐变大。 薄膜更适合作cdR薄膜太阳电池的n型窗口层。 目前对CdS薄膜六方相和立方相及其相互转化 1 实验 的研究主要在3个方面。一是热处理，O．zekIya—An． 1．1 Clls薄膜制备 耐等人在如+S2的气氛下对一系列CBD—cdS薄膜 采用cBD法，在掺氟二氧化锡(sn02：F)透明 样品进行热处理(100～550℃)，再用光致发光