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反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响.pdf
笏羞塞喜苎张a与tio应n用
1．01．008
doi：10．3969／j．issn．1003—353x．201
反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
戚玉婕1’2，车录锋1，孙腾1’2，王跃林1
(1．中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室，
上海200050；2．中国科学院研究生院，北京100049)
摘要：高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声，满足于高精度测量的需要，
但欠阻尼的传感器系统动态性能较差，因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻
时的系统模型，进一步结合实际PCB板的测量，分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频
响应曲线。实验结果表明，合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值，改善动态响应。最后
得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略。
关键词：电容式加速度计；反馈补偿参数；Q值；微机械系统；MATLAB
中图分类号：TH703文献标识码：A
Influenceof on
Feedback
CompensationDynamic
Property
for Accelerometers
High—Q
Capacitive
Yuelinl
QiYujiel”，CheLufen91，SunTen91”，Wang
Transducer Institute and
(I．StateKeyLaboratoryof Technology，ShanghaiofMicrosystem
the
Sciences，Shanghai200050，China；2．GraduateUniversityof
InformationTechnology，ChineseAcademyof
Chinese 1
AcademyofSciences，Beijing00049，China)
lowmechanical meets resolution
accelerometerhas
Abstract：High-Qcapacitive noise，whichhigh
an accelerometerresultsinbad
with
requirements．However，thesystem under-damping dynamic
application
needsfeedback in circuittoincreaseelectrical the
a
response compensationclosed—loop
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