喷雾热解法制备SnO2F+Sb薄膜的结构及性能研究.pdfVIP

钟 明等：喷雾热解法制备Sn02：F+sb薄膜的结构及性能研究 喷雾热解法制备Sn02：F+Sb薄膜的结构及性能研究。 钟明，赵高扬 (西安理工大学材料科学与工程学院，陕西西安710048) 摘要： 采用喷雾热解法在玻璃基板上制备了SnO。 2 实 验 ：F+Sb薄膜，对薄膜的结构及性能进行了研究。用 STM对薄膜表面进行表征，发现薄膜表面光滑平整， 2，l溶胶配制 粗糙度R。为16．283nm。四探针测试仪测定薄膜方阻 合，在80℃搅拌至澄清，然后再加入SbCl。和三氟乙酸 为60Q／口，电阻率为2．1×10_3Q·cm。用XRD表征 薄膜结构，薄膜为四方相多晶SnO。结构，说明掺杂没 的乙醇溶液，继续搅拌4h，得到浅黄色透明澄清溶胶。 有该变薄膜结构。对薄膜的光学性能进行了测试，可 Sb和F的掺杂量分别为3％和50％(原子分数)。 2．2薄膜的制备 见光透过率达到80％，在2500nm处的中远红外区反 射率由镀膜前的6％上升到36％。按国家标准测试了 镀膜玻璃耐酸碱稳定性，实验前后薄膜的可见光透过 玻璃作为基板，为防止玻璃中Na+、K+离子扩散到膜 率变化3％，符合国家标准。同时本研究还对镀膜玻 层，影响薄膜的光电性能，首先在基板上镀一层Si0。 璃的保温性能进行了测试，结果表明本实验制备的镀 薄膜。基板在使用前用丙酮和无水乙醇清洗。本实验 膜玻璃具有较好的保温性能。 装置如图1所示。溶胶由蠕动泵抽人喷枪，经压缩空 关键词： 喷雾热解；Sn0。：F+Sb薄膜；镀膜玻璃气雾化后喷向高温基板，喷枪通过电机以一定速度来 中图分类号： TN304．21；TQl71．73文献标识码：A回移动，从而在基板上形成均匀的薄膜，反应产生的废 文章编号：1001—9731(2005J09—1429一03 气则由抽风机排出。实验中，基板温度、气压、液压、基 板到喷嘴的距离等工艺参数对成膜质量有很大的影 1 引 言 响，经优化后，基板温度、气压、液压、基板到喷嘴距离、 二氧化锡薄膜具有热稳定特性好、成本低、硬度 35cm、2cm／s。 高、光电特性优良等优点，使得它在薄膜电阻、太阳能 电池、气敏传感器等领域得到了广泛的应用[1’2]，尤其 在低辐射镀膜玻璃领域有很大的潜在应用价值，近年 来，已受到了各国研究人员的普遍重视。 二氧化锡薄膜主要是通过掺杂来提高电导率的。 目前研究较多的是在SnO。中掺人F、Sb等，掺F的 Sn02薄膜具有良好的光电性能，但热稳定性差；掺sb 的Sn02薄膜热稳定性较好，但光学性能差[3]。而同 时掺人F和Sb，并调整掺杂比例，有可能获得较好综 合性能的Sn02基透明导电薄膜。 图1 喷雾热解装置示意图 SnOz薄膜的制备方法主要有化学气相沉积法“]、 1Sketchof Fig spraypyrolysis apparatus 溶胶一凝胶法[5]、磁控溅射法[6]、喷雾热解法‰73等。与 2．3分析与测试 其它方法相比，喷雾热解分解法具有设备简单，成本 采用TU-】901型紫外一可见分光光度计测定薄膜 低，适合于制备大面积镀膜等优点。本研究采用喷雾 可见光透过率；用SDY一5型四探针测试仪测定薄膜方 热解法制备了Snoz；F+Sb镀膜玻璃，对薄膜的表面