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将20钢试样、源极材料放置在辅助阴极内,试 减剥61。图2为表面合金元素浓度与气压的关系,可
样与试样、镝板和辅助阴极之间产生等电位空心阴 见工作气压通过影响源极的供给能力和工件表面对
极效应和试样和源极之间将产生不等电位空心阴极 活性原子的吸附能力,影响合金渗层的厚度。在本
效应,大量离子轰击试样表面并使其加热至960℃一 试验条件下工作气压最佳范围在30Pa左右。
1050℃的高温,保温扩散一段时间,试样表面吸附
艏
的合金元素向内部扩散而形合金层,共渗结束缓冷
至室温。 ∞
1.2工艺试验
笛
在双辉等离子渗金属过程中,合金渗层的厚度
∞
与合金渗层中合金元素浓度受到工艺参数(工作气
压、保温时间、保温温度)的影响,本试验试图找 为
到w-Mo-Dy三元共渗获得优良合金渗层的最佳工艺
{寻
参数。首先确定工作气压对合金渗层厚度的影响,
具体工艺参数为:源极电压在800~900V,阴极电压 I]【州/Jo京一龇II—Ao一一∞铀o∞∞o_DIu—II工 侣 18 ∞ 复 斟 为 ∞ ∞ 匏 钳 ∞
650~750V,占空比0.2~0.8的条件下,分别选工作 n岱su胁
气压为20Pa、25Pa、30Pa、35Pa;保温时间为3h、 图l合金渗层厚度与气压的关系
4h、4.5h、5h、6h;工作温度为960℃、990℃、 thic觚of
Fig.1Relali∞蛐be咖pressure锄da11啦hy贫
1020℃、1050℃进行W-Mo-Dy三元共渗。通过对
合金渗层的厚度和表面合金元素的浓度进行检测和
表征,获得最佳等离子W-Mo-Dy三元共渗的工艺 6
5
参数。 4
3
21
2试验结果及分析 0
9
8
2.1工作气压对合金渗层厚度的影响 7
6
5
图1为合金渗层厚度与气压的关系曲线。可以 4
3
看出:随着工作气压的增加,合金渗层厚度也在
21
增加,当工作气压
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