掺碳可见光TiO2光催化薄膜的制备及性能初探.pdfVIP

第七届广东省真空学会学术研讨会论文集 l实验 1．1薄膜的制备 薄膜的制备采用气体反应磁控溅射法，Ti02靶，本底真空为1．0x10一pa，工作气体为氩气和 碳源气体，工作气压为1．0pa，石英基底，膜厚大为162nm左右． 1．2薄膜的表征 管电压40kV，管电流120 mA，狭缝DS、RS、SS分别选1．0。、1．0。、3．0。，对薄膜的晶格结 构进行测试。用UNICAM UV500紫外．可见光漫反射光谱仪(美国热电公司)测试薄膜的紫外可 见光吸收谱。用x射线光电子能谱仪(PHIQuanteraSXM)测定薄膜的光电子能谱，加单色器，选 M 用Al阳极靶，能量分辨率为0．5ev，灵敏度3CPS，角分辨45。，x束射9-200um，分析室真空 度6．7x10一pa。用电子显微镜得到Ti02．。C。薄膜的SEM像。 2初步的结果与讨论 2．1Ti02与Ti02．xCx薄膜结构分析 图l是Ti02与Ti02．。C。薄膜的XRD谱，图谱中没有金刚石特征峰及其它的特征峰出现， 是锐钛矿结构。Ti02．。C。峰较Ti02峰有左移，是掺杂晶格畸变引起的，这和文献【51结果相一致。 2．2薄膜的吸收边特性 薄膜的改性效果，直接表现在吸收谱中吸收边的拓宽和红移。在图2中采用直线外交法得 到薄膜的吸收边移动到可见光区域(432nm)，且有一个较宽泛的可见光区吸收小平台。 图1 Ti02与Ti02．xC。薄膜的XRD谱 图2．Ti02．xC。薄膜紫外吸收图谱 diffractionof fig．1X-ray spectraTi02 TheUV-visible film fig．2 spectraofTi02．。Cx and films Ti02．xCx 2．3碳元素化合态分析 掺杂碳的化合态对二氧化钛薄膜光催化性能改性有决定性的作用，单质碳在光催化反应中 只起到吸附剂的作用，对拓宽响应波长没有效果；而薄膜中化合态的碳掺杂的直接效果是使得 掺碳可见光Ti02光催化薄膜的制备及性能初探 一一 ————————————————————————————————————————————————————————————一_ 两种晶格Ti·O和Ti-C电子云重叠，吸收边红移，且出现新的Ti．O和Ti．C电子云杂化的混合 状态。图3是Ti02．。C、薄膜X射线电子能谱，图谱中有Ti．C特征结合能谱峰，同时也有C-C特 征结合能谱峰，即作为吸附剂的单质碳。 2．4表面形貌 光催化反应绝大部分是在薄膜表面完成得，表面空洞、大的比表面积和较多的缺陷对薄膜 的光催化性和亲水性能(即表面羟基自由基的浓度)影响很大。图4是Ti02．。C。表面SEM图， 可见薄膜颗粒大小均匀，尺度约25rim，属于纳米量级，呈现柱状晶结构。 6inai嗍Energy，Cev》 图3．Ti02．、C。薄膜的光电子能谱 图4．Ti02．。C。薄膜的SEM图 fi2．．3．TheXPSofTiO，…Cfilm SEMof fig．4．the Ti02．、C、 3 结论 用物理化学磁控溅射法成功地在低温下制备了碳掺杂Ti02薄膜。对薄膜的结构和性能做了 表征与分析。XRD结果显示薄膜为锐钛矿结构且没有出现非Ti02结构的特征峰；光响应波长 已由纯Ti02薄膜的380nm拓宽到了432nm的可见光区；X射线光电子能谱发现Ti．C的特征 峰，可知部分掺杂碳是以化合物的状态存在Ti02．。C。薄膜中，同时也有作为吸附剂的单质碳存 在，薄膜的电镜结果显示薄膜颗粒大小均匀且为纳米量级，呈现柱状晶结构。 参考文献 Fundamentalsand 999 [1】FujishimaA，HashimotoK，WatanabeT．Ti02Photo