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第七届广东省真空学会学术研讨会论文集
l实验
1.1薄膜的制备
薄膜的制备采用气体反应磁控溅射法,Ti02靶,本底真空为1.0x10一pa,工作气体为氩气和
碳源气体,工作气压为1.0pa,石英基底,膜厚大为162nm左右.
1.2薄膜的表征
管电压40kV,管电流120
mA,狭缝DS、RS、SS分别选1.0。、1.0。、3.0。,对薄膜的晶格结
构进行测试。用UNICAM
UV500紫外.可见光漫反射光谱仪(美国热电公司)测试薄膜的紫外可
见光吸收谱。用x射线光电子能谱仪(PHIQuanteraSXM)测定薄膜的光电子能谱,加单色器,选
M
用Al阳极靶,能量分辨率为0.5ev,灵敏度3CPS,角分辨45。,x束射9-200um,分析室真空
度6.7x10一pa。用电子显微镜得到Ti02.。C。薄膜的SEM像。
2初步的结果与讨论
2.1Ti02与Ti02.xCx薄膜结构分析
图l是Ti02与Ti02.。C。薄膜的XRD谱,图谱中没有金刚石特征峰及其它的特征峰出现,
是锐钛矿结构。Ti02.。C。峰较Ti02峰有左移,是掺杂晶格畸变引起的,这和文献【51结果相一致。
2.2薄膜的吸收边特性
薄膜的改性效果,直接表现在吸收谱中吸收边的拓宽和红移。在图2中采用直线外交法得
到薄膜的吸收边移动到可见光区域(432nm),且有一个较宽泛的可见光区吸收小平台。
图1 Ti02与Ti02.xC。薄膜的XRD谱 图2.Ti02.xC。薄膜紫外吸收图谱
diffractionof
fig.1X-ray spectraTi02 TheUV-visible film
fig.2 spectraofTi02.。Cx
and films
Ti02.xCx
2.3碳元素化合态分析
掺杂碳的化合态对二氧化钛薄膜光催化性能改性有决定性的作用,单质碳在光催化反应中
只起到吸附剂的作用,对拓宽响应波长没有效果;而薄膜中化合态的碳掺杂的直接效果是使得
掺碳可见光Ti02光催化薄膜的制备及性能初探
一一
————————————————————————————————————————————————————————————一_
两种晶格Ti·O和Ti-C电子云重叠,吸收边红移,且出现新的Ti.O和Ti.C电子云杂化的混合
状态。图3是Ti02.。C、薄膜X射线电子能谱,图谱中有Ti.C特征结合能谱峰,同时也有C-C特
征结合能谱峰,即作为吸附剂的单质碳。
2.4表面形貌
光催化反应绝大部分是在薄膜表面完成得,表面空洞、大的比表面积和较多的缺陷对薄膜
的光催化性和亲水性能(即表面羟基自由基的浓度)影响很大。图4是Ti02.。C。表面SEM图,
可见薄膜颗粒大小均匀,尺度约25rim,属于纳米量级,呈现柱状晶结构。
6inai嗍Energy,Cev》
图3.Ti02.、C。薄膜的光电子能谱 图4.Ti02.。C。薄膜的SEM图
fi2..3.TheXPSofTiO,…Cfilm SEMof
fig.4.the Ti02.、C、
3 结论
用物理化学磁控溅射法成功地在低温下制备了碳掺杂Ti02薄膜。对薄膜的结构和性能做了
表征与分析。XRD结果显示薄膜为锐钛矿结构且没有出现非Ti02结构的特征峰;光响应波长
已由纯Ti02薄膜的380nm拓宽到了432nm的可见光区;X射线光电子能谱发现Ti.C的特征
峰,可知部分掺杂碳是以化合物的状态存在Ti02.。C。薄膜中,同时也有作为吸附剂的单质碳存
在,薄膜的电镜结果显示薄膜颗粒大小均匀且为纳米量级,呈现柱状晶结构。
参考文献
Fundamentalsand 999
[1】FujishimaA,HashimotoK,WatanabeT.Ti02Photo
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