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氟碳直接合成高纯四氟化碳的工艺技术
唐忠福 肖 三 桂思祥 马建修 夏致远
佛山市华特气体有限公司，广东佛山528241
摘要：随着半导体产业的迅猛发展，高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而，生产高纯CF4的技术报道
较少，限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术，并作出了展望，同
时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏、吸附等方法进行了概述。根据本公司现行的生产工艺，生产的高纯
CF4质量好成本低，可以满足国内市场的需要。
关键词：四氟化碳;合成;吸附；精馏
Abstract:Withtherapiddevelopmentofthesemiconductorindustry,highpuritycarbontetrefluoride(CF4)would
bedemandedincreasingly.However,thetechnologyoftheproductionofhighpurityCF4wasreportedlessly,which
restrictesthedevelopmentofthemicroelectronicindustryprocess.Therefore,thispapersummarizestechnologythat
issynthesizeddirectlywithfluorinateandcarbon,andmakesprospect,whiletheproductpurificationinvolvesalkali
wash,cryogenicrectification,adsorptionandothermethods,whicharesummarized.Accordingtothecompanys
currentproductionprocess,theproductionofhighpurityCF4hasgoodqualityandlowcost,tomeettheneedsofthe
domesticmarket.
Keywords:carbontetrafluoride;synthesis;adsorption;rectification
进入精馏塔2
拘CF4经高压
碳杂质的再
【氟化碳的j
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