ITO靶材研究现状和发展趋势.pdfVIP

996 功 能 材 料 2004 年增刊 （35 ）卷 ITO 靶材的研究现状与发展趋势 ∗ 李音波，李卫华，闫 琳，余前春，韩志伟 (北京有色金属研究总院 有研亿金新材料股份有限公司，北京 100088) 摘 要：概述了ITO 靶材的应用范围和日益增大的市 弹的窗口、建筑物幕墙玻璃等方面获得广泛应用，形 场需求；对ITO 靶材的加工技术和工艺进行了探讨， 成相当的市场规模。 对 ITO 薄膜的特性进行了描述；并讨论了 ITO 靶材 以下对它的主要应用领域作简要介绍。 所面临的技术问题及发展趋势 （1 ）ITO 透明导电膜玻璃已开始被大量用于 关键词：ITO 靶材；透明导电膜；烧结工艺 TFT-LCD （thin-film transistor-liquid crystal display ， 中图分类号：O484.42 文献标识码：A 薄膜晶体管液晶显示器）的制造，用于计算机显示器、 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊-0996-05 笔记本电脑、壁挂电视机、移动通讯手机、触摸屏、 各种图象及数码显示电子仪器等。被誉为第二半导体 1 ITO 透明导电膜的应用前景 工业。产品具有薄、轻、低、美的优良性能，薄如壁 ITO 透明导电膜的电子工业是作为我国政府发 画；轻只有CRT(cathod ray tube ，阴极射线管)显示器 展国民经济的支柱产业，其中电子信息产业是优先发 的几十分之一；低功耗、低电压；画面精美，特别是 展领域，而平板显示是当今电子信息产业最具活力的 作为CAD 的图形工作站显示器，线条显示明亮清晰， 领域。 不伤视力，是任何高档名牌的 CRT 显示器所无法比 众所周知，进年来溅射靶材和溅射技术的发展， 拟的。 极大的满足了各种新型电子元器件发展的需求，随着 （2 ）ITO 透明导电膜玻璃作为面发热体，通电 产品的不断推陈出新，靶材市场在质量上、数量上蓬 后可以除冰霜，用于飞机的挡风玻璃、飞机眩窗、激 勃发展起来，据 BCC(Business Communication 光测距仪、潜水望远镜观察窗等，多年来已得到了广 Company ，商业咨询公司)统计表明，全球靶材市场将 泛的应用。 以8.8% 的平均增长率在今后的 5 年内持续增长，估 （3 ）ITO 透明导电膜玻璃正反面具有相反的红 计将从 1999 年的销售额的7.2 亿美圆增长到2004 年 外线通过和反射性能，玻璃正面具有优良的红外线通 的 11 亿美圆。在这其中光学镀膜产业无疑是最大的 过性能，衰减率极小，而反面又具有红外线阻挡发射 市场。 作用，因而该玻璃具有保湿透光性能，已大量用于冷 ITO(Indium-Tin-Oxide,铟锡氧化物) 导电膜由于 藏柜。随成本的降低，将有望用于制造房屋节能，夏 具有优异的透明导电性能、透明性及良好的加工性 季时，反面朝外，阻挡高热红外线入，房间变的凉爽； 能，用磁控溅射的方法制备ITO 导电膜在本世纪末得 冬冬季正面朝外，太阳红外线可以照入房间，而房间 到高速发展和广泛的应用，约占功能膜的50% 以上。 内的红外线被反射，不能透射出去，房间节能温暖。 有人称其为“二十世纪最后的几项大型技术之一”。