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倒筒式直流溅射法生长大尺寸双面YBCO高温超导薄膜.pdf
第 卷第 期 硅 酸 盐 学 报 ，
30 2 VOI . 30 NO .2
年 月 ，
2 0 0 2 4 JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY A p r i I 200 2
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
倒筒式直流溅射法生长大尺寸双面YBCO 高温超导薄膜
陶伯万，刘兴钊，张 鹰，罗 安，何世明，李言荣
（电子科技大学，成都 610054 ）
摘 要：采用倒筒式直流溅射结合辐射加热方法对无源微波器件用的 （ ）双面薄膜生长进行了研究，实验结果表明：直流非
Y Ba Cu O YBCO
1 2 3 7 - x
磁控溅射可以制备性能良好的薄膜 通过基片绕支撑杆和基片表面法线旋转，实现了在（ ） 基片两面同时原位沉积厚度均匀的
. 100 LaAIO YBCO
3
薄膜 生长出的 （ ）高质量的 双面薄膜，两面的 分别为 和 ，超导转变宽度均为 ，两面的微观表面电
. !25 .4 mm Iinch YBCO Tc0 90 . 3 K 90 .4 K 0 . 8 K
阻（ ）随温度变化一致， （ ， ）分别为 和 在直径 的基片上，薄膜的厚度均匀性良好，其厚度起伏在 以
R R 77 K 10 GHZ 330 400 . 30 mm 10 %
s s ! !
内 薄膜面内的 分布在 附近， 都分布在 以内，能满足微波器件研制的需要
. Tc0 90 K R s 1 m .
关键词：高温超导；薄膜；钇钡铜氧超导膜；直流溅射
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
O 484 . 1 A 0454
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