半导体制造中具有重入加工工艺的双臂组合设备的调度研究.pdfVIP

制造业信息化 机电工程技术2013 年第42 卷第09 期 DOI: 10. 3969 / j. issn. 1009-9492. 2013. 09. 009 半导体制造中具有重入加工工艺的双臂组合设备的调度研究* 付 虎，伍乃骐，乔 岩 （广东工业大学机电工程学院，广东广州 510006） 摘要：解决带重入加工工艺的双臂组合设备的调度问题是非常困难的。如果采用交换策略调度该系统，系统将处于一个3-晶圆 周期性调度过程。为改善系统的运行过程及降低生产周期，给出了基于2-晶圆周期性调度方法的调度算法。该算法由解析表达 式组成。因此执行非常有效。通过对比3-晶圆和2-晶圆调度方法，可有效的判断两种调度方法的优劣。最后，实例验证该方 法的可应用性。 关键词：半导体制造；组合设备；Petri网；调度 中图分类号：O22 文献标识码：A 文章编号：1009－9492(2013)09－0032－06 Scheduling Analysis of Dual-Arm Cluster Tools with Wafer Revisiting in Semiconductor Manufacturing FUHu，WUNai-qi，QIAOYan （GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，China） Abstract: Itisverydifficulttosolvetheschedulingproblemofdual-armclustertoolswithwaferrevisiting.Ifswapstrategyisapplied，it formsathreewaferperiodicalprocesswiththreewaferscompletedineachperiod.Inordertoimprovetheperformanceofthesystem， schedulingalgorithmsarepresentedbasedon2-wafercyclicscheduling.Thealgorithmsconsistofanalyticalexpressions.Therefore，itis veryefficient.Comparedwiththe2-waferschedulingby3-waferscheduling，itisefficienttocheckwhichschedulingmethodisbetterfor thesystem.Finally，anillustrativeexampleisgiventoshowntheapplicationoftheresults. Key words: semiconductormanufacturing；clustertools；Petrinet；scheduling 0 绪论 统开始加工另一个真空锁中的晶圆，这样真空锁 在半导体制造业中，组合设备已经被广泛的 可以连续不断地向系统载入晶圆，使得系统绝大 用来加工晶圆。它是一种集成设备。因此使用组 多数情况下处于稳定的运行状态。 合设备，可获得一个更具灵活性，可重构，非常 [1-2] [3] 有效率的加工环境 ，可以带来更高的产量 ，缩 [3-5] [2，5] 短生产周期 ，更好的利用空间 以及降低生产 成本[5]。由于空间的限制，一台组合设备由几个加 工模块 （processingmodule，PM）、一个传输模块 （transportmodule，TM，机械手）和两个真空锁 (loadlocks)组成。带单只机械手的叫单臂组合设 备，带双只机械手的叫双臂组合设备，如图1所 示。当组合设备运行时，机械手将待加工的晶圆 从真空锁卸载