相位凝固技术中干涉信号调制解调误差分析期刊文献.pdfVIP

第39卷 第4期 激 光 技 术 Vo1．39．No．4 2015年 7月 LASER TECHNOLOGY July，2015 文章编号：1001—3806(2015)04-0501—05 相位凝固技术 中干涉信号调制解调误差分析 张晓青 ，贾豫东 ，曹文娟 (1．北京信息科技大学 仪器科学与光电工程学院测控技术与仪器系，北京 100192；2．北京信息科技大学 现代测 控技术教育部重点实验室，北京 100192) 摘要：为了进一步减小基于相位凝 固技术的激光反馈干涉系统测量运动物体微位移时的测量误差，采用 MATLAB数值仿真及曲线拟合的方法 ，对移相问隔和外腔反射面振动幅度引起的系统误差进行了理论分析。在系 统实验中依据相位凝固原理对物体运动产生的干涉信号进行采样，获取多组光功率曲线，在光功率 曲线上实时判 向并标记特征点。根据特征点重构被测物体的微位移曲线 ，对重构得到的微位移台阶曲线进行多项式拟合以提高 测量精度。结果表明，在固定移相间隔为 5、激光器波长为 1550nm的情况下，测量分辨率优于a／20(77．5nm)， 实际测量的绝对误差最大值为47．98nm，峰峰值误差平均值小于 1nm。相位凝固技术调制解调干涉信号为微位移 的方向辨识和高精度测量提供了新的解决方案。 关键词：激光技术；激光反馈干涉；相位凝固技术；调制解调；重构；微位移测量 中图分类号：TN247 文献标志码：A doi：10．7510／jgis．issn．1001-3806．2015．04．016 Erroranalysisofinterferencesignalmodulationand demodulationin phasefreezingtechnique ZHANGXiaoqing ，JIAYudong ，CAOWenjuan (1．DepartmentofMeasurementandControlTechnologyandInstrumentation，SchoolofInsturmentationScienceOpto—e— lectronicEn~neefing，BeringInformationScienceandTechnologyUniversity，Bering100192，China；2．KeyLaboratory ofModem MeasurementControlTechnoloyg ofMinistry ofEducation．BeijingInfomrationScienceandTechnoloyg Uni— versity，Bering100192，China) Abstract： In order to reduce measurementerrorswith a laserfeedback interference system measuring micro displacementsofmovingobjectsbasedonphasefreezingtechnique，systemerrorsinducedbyintervalsofphaseshiftand vibrating amplitudesofreflecting surfaeewere analyzed theoreticallybymeansofMATLAB numericalsimulation， interpolationandcurvefit．Insystem experiments，interferencesignalsproducedbymovingobjectswerecollectedand sampledbyphasefreezingprincipleSOastoo