激光散斑传特性及其在微投影中的应用.pdf

中文摘要 摘要 激光散斑这一物理现象，可以应用于振动测量、粗糙度测量、生物无损检测 等；对于成像系统而言，散斑作为噪声将会影响到其成像质量。本文主要探讨激 光散斑的传输特性及其在微投影中应用，具体分为以下五个方面内容： 1．采用光学本征函数法分析了投影系统中散斑的传输特性。屏幕散射光在 人眼中形成的散斑强弱取决于投影系统的成像自由度和人眼在投影屏幕上的分 辨单元大小两个因素。由于人眼在投影屏幕上的可分辨单元大小根本不变，因此， 可以通过增加投影系统的空间带宽积一增加投影镜头的数值孔径或视场，以增加 投影系统自由度来降低散斑。当采用完全散射的运动相位片抑制散斑时，比较理 想的方案是让运动相位片出射波的自由度与投影镜头自由度相匹配。 2．受限于时间相干性的二次散斑在自由空间传输特性研究：在二次散斑自 由空间传输实验中发现一个有趣的现象，当激光光源时间相干长度与照明尺寸同 一数量级时，散斑衬比度将会出现一个极值转折点。根据时间相干性理论和近场 散斑特性，从理论上完整地解释了该物理现象。通过测量极小值点位置和照明面 积可以获得照明激光二次散斑相干面积，据此提出一种测量物体表面粗糙度参数 ——表面高度相关面积和高度协方