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摘要 SBN电光薄膜及椭偏光谱研究 专 业：凝聚态物理 申请人姓名：王正 导 师：张日理副教授 莫党 教授 摘 要 薄膜制各及光学特性检测是目前薄膜材料发展研究的一个重要课题。本论文 射光谱法等光学检测方法对其进行了分析研究，得到了一些有意义的结果。本论 文的主要内容如下： 椭偏光谱法对其进行了测量，得到了～系列不同退火温度的SBN薄膜椭偏 参数谱，并对所测的椭偏光谱进行了数值反演计算和分析研究，首次得到了 SBN铁电电光薄膜的光学常数与退火温度之间的关系，发现：随着退火温度 增加，薄膜折射率n和消光系数k值均增大。 2． 对由脉冲激光沉积(PLD)法制备的外延SBN铁电电光薄膜进行了透射光谱 测量、分析和研究，得到了外延SBN铁电电光薄膜的光学常数，并与椭偏 光谱的测量结果进行了比较，结果符合的很好。 3．对超薄(膜厚几个或几十mn)类金刚石薄膜进行了椭偏光谱法测量分析和 研究，得到了超薄类金刚石薄膜的厚度，这说明椭偏光谱法是研究检测超薄 薄膜厚度的一种非常好光学方法。 4．椭偏光谱解谱及数值反演方法一直是椭偏光谱研究的一个重要课题，本文最 摘要 后尝试把遗传算法(GA)这种新方法应用到椭偏光谱解谱及数值反演中， 以达到优化计算和快速解谱的目的，并把遗传算法与传统的多维空间非线性 最小二乘法所得到的结果进行了比较，这无疑是对椭偏光谱解谱及数值反演 方法的一次有意义的探索和研究。 关键词：SBN薄膜，溶胶．凝胶法，光学常数谱，椭偏光谱，透射光谱，遗传算 法 Abstract Studiesof SBN ThinFilm Electro—optic and Materials Spectroscopic Mattercs Major：CondensedPhysi Name：ZhengWang ProfessorYueli Supervisors：AssociateZhang， andProfessorMo Dang Abstract Thefabricationofthinfilmmaterialsandtheir measurementare opticalprobe inthe ofthinfilmmaterials．Inthis currentlykeyproblemsdevelopment thesis，a seriesof have SrxBalTxNb206(SBN)ferroelectricthinfilms been electro—optic fabricatedan