二次离子质谱.pptVIP

二次离子质谱 （SIMS） 一、基本概念 二次离子：在高真空环境中用一束高能(3-20 keV)离子束或中性粒子束轰击固体表面，入射离子(中性粒子)与固体表面发生级联碰撞，将一部分固体原子以离子形式溅射出来，该部分离子称为二次离子。 一、基本概念 质谱：指的是不同种类带电粒子(原子或原子团)的荷质比及强度构成的谱图。 质谱分析是利用质谱仪。根据分析原理的不同，目前质谱仪种类包括：四级质谱仪，飞行时间质谱仪，离子阱质谱仪，双聚焦质谱仪和傅里叶变换质谱仪等。 二、应用 1、成分分析 1）定性分析 1、成分分析 1）定性分析 (a)标准样品校正法 利用已知成份的标准样品，测出成份含量与二次离子流关系的校准曲线，对未知样品的成分进行标定。 (b)理论分析法 三、特点 1、可以分析所有的元素 2、可以分析同位素 3、可以分析痕量元素 4、定量分析误差较大 5、分析速度快 6、面分析分辨率高 * * 点成分分析 成分面分析 成分深度分析 1、成分分析 2）定量分析 *