微纳VO2薄膜特性及应用的研究.pdf

摘 要 高灵敏度的非致冷红外焦平面的出现被认为是近二十多年来红外工程的最了 不起的成就。相比于致冷型光子探测器，非致冷型探测器具有成本低、体积小、重 量轻、功耗小、可靠性高等方面的优点，引起了红外成像应用方面的广泛的关注。 氧化钒微测辐射热计是一种非致冷红外热探测器，它采用与标准的互补型金属 氧化物半导体准CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor-CMOS）工艺兼 容的表面微机械加工工艺，将阵列探测器与读出电路单片集成。目前已有像元面积 25µm×25µm、阵列规模 640×480 的氧化钒微测辐射热计，其噪声等效温差接近 12mk。但是微测辐射热计的性能改善还有很大的空间，特别是改善热敏材料的性 能。 本文围绕微测辐射热计通常使用的材料二氧化钒（Vanadium Dioxide-VO ）进 2 行研究，制备了微米及纳米结构 VO2 薄膜，研究了两种材料的性能及其应用，重 点对两种材料在红外探测方面的应用进行了研究。主要的研究成果如下: (1) 进行了微米结构 VO2 薄膜研制工作。通过磁控溅射方法制备的该薄膜具有 1~2µm 平均晶粒度，相变温度为 68℃，在半导体区的电阻温度系数（Temperature coefficient of Resistance-TCR）为-2.2%/K。 (2) 开展了纳米结构 VO2 薄膜研究工作。该薄膜通过离子束溅射和后退火工艺制 备，对薄膜的特性研究表明：薄膜晶粒度为8nm，35℃发生相变温度，在材料的半导 体相区TCR 为-7%/K，较微米结构热敏VO2 的TCR 高3 倍多。 (3) 制作了微米和及纳米VO2 线列 128 元红外探测器，并对两者的红外探测性能 进行了对比测试。测试结果表明：纳米 VO2 线列探测器的红外响应性能较微米 VO2 线列探测器的红外响应性能得到了很大的提高，前者为后者的2~3 倍。 (4) 研制了以微米 VO2 薄膜为传感材料，聚合物苯并环丁烯（Benzocyclobutene- BCB）为柔性衬底的柔性微测辐射热计。对器件的测试表明：在800K 的黑体辐照、 3 7 1/2 3Hz 斩波频率下，器件的响应率和探测率分别为7.4×10 V/W 和6.9×10 cmHz /W。 (5) 完成了微米VO2 阵列（32×32）微测辐射热计的研制工作，器件的制作工艺与 I CMOS 工艺完全兼容。测试表明：在 1V 的偏压下，器件的像元响应率和噪声等效温 4 -10 差功率的典型值分别为 1.47×10 W/K、4.14×10 W。 (6) 研究了低温相变纳米 VO2 薄膜智能窗在可见光区低透过率的改善方法。通过 在纳米VO 智能窗上镀 SiO 减反膜的方法取得了较好的试验效果，使智能窗在VO 2 2 2 薄膜半导体相和金属相的可见光区透过率都有不同程度的改善。 关键词：非致冷红外焦平面 微测辐射热计 二氧化钒薄膜 电阻温度系数 单片集成技术 柔性传感器 智能窗 II Abstract The appearance of high-sensitivity uncooled infrared focal plane arrays is considered as the mo