先进半导体设备制造技术及趋势.pdfVIP

维普资讯 产生 鼍 先进半导傩设备制造技术及趋势 张云 王志越 中国 电子科技 集团公司第 四十五研 究所 摘要 ：本文首先介绍 了国内外半 导体设 备市场 ，认为市场 星有 起伏 ，但前景 良好 。从晶圆处理和封装的 典型设备入手介绍 了当前最 先进半导体设备技 术 ，之后总结 出半导体设 备技 术发展的四大趋势 。 1国内外半导体设备市场 表一 按设备娄型划分的市场销售额 (单位：1O亿美元) 根据SEMI的研究，2006年全球 半导体设备市场为388．1亿美元，较 2005年增长 18％，主要原因是各地 区投资皆有一定程度的成长 ，少则 20％(日本 )，多则229％(中国大陆)， 表二 按地区划分的市场销售额 f单位：1O亿美元) 整体设备订单成长率则较 2005年成 长51％，比2005年底预测值多出28 4亿美元。 SEMl在 SEMlCONJapan展会 上发布了年终版半导体资本设备共识 预测(SEMlCapitalEquipmentCon— sensusForecast)，预计 2007年全 球半导体制造设备市场销售增长减缓 为3％，达到4168亿美元；2008年 长6％达到3O6．1亿美元，封装设 了 12．4％。表二为按地 区划分的市 全球半导体设备市场将出现衰退，下 备领域增长 11％至 27．2亿美元，而 场销售额，包括往年的实际销售额和 滑 1．5％；而到2009年及2010年恢 测试设备领域预计将出现 15％下滑 未来的预测。 复增长 ，预计 实现高个位数增速 ， 至54．7亿美元。表一为按设备类型 虽然半导体设备市场有一定的起 2010年销售额达到479．9亿美元。 划分的市场销售额 ，包括往年的实 伏，但是很明显，市场的前景非常好， SEMl总裁兼CE0 StanlevT． 际销售额和未来的预测。 总体一直是稳中有升。中国大陆2006 Myers表示，2007年半导体制造、封 从区域市场分析，北美、日本及 年半导体设备销售额超过23亿美元， 装及测试设备销售情况略高于去年， 欧洲半导体设备市场出现下滑，下降 比2005年增长了74．4％，中国大陆 成为业界历史上销售额第二高的一 幅度分别为8．9％、3．1％及 11．7％； 的市场销售额一直呈上升趋势，国内 年。SEMl成员将继续推进半导体制 而台湾和中国大陆销售增长幅度最 半导体设备具有非常诱人的市场前 造设备的强势增长，预计到201O年 大，分别为289％和23．8％，台湾 景。这和中国半导体产业的快速发展 市场销售额达到48O亿美元。 地区销售额达到94．2亿美元，有史 有着直接关系，中国的市场也越来越 从设备类型分析 ，占有最大份 以来第二次超过 日本；南韩市场略 引起国际半导体设备厂商的重视，投 额的晶圆处理设备领域 2007年将增 微增长5．2％，其余地区市场也下降 资的力度会越来越大，对我们国内半 维普资讯 产生沦鼍 。 导体设备厂商是机遇 ，更是挑战。 从 300mm／90nm工艺技术逐步转向 PIanarizatiOn，化学机械平坦化 ) 从技术上来讲 ，半导体专用设 300mm／65nm工艺技术 ，300mm／ 设备也是 晶圆处理过程 中的一种非 备的技术 门槛越来越高，在高阶制 45nm 工艺技术在 2007年底将 由 常关键的设备 ，该设备的技术进展 程设备需求方面 ，半导体制程发展 InteI公司率先流片生产。为了解决 一 定程度上代表了晶圆处理设备技 快速 ，线宽也不 断朝 向物理 、化 高集成度和更小线宽的难题 ，必然 术进展的趋势 ，而且平坦化技术已 学、光学 的极限前