《2-氨基-5-巯基-1,3,4-噻二唑缓蚀剂结构的密度泛函计算》.pdfVIP

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2015-12-09 发布于河南
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《2-氨基-5-巯基-1,3,4-噻二唑缓蚀剂结构的密度泛函计算》.pdf

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第卷第期中国有色金属学报年月 ! # #)) # $%’!(%’# *+,’ #)) !#$%#’#()*+,-)./).#++)*’0#1,-’ ! 文章编号! ! !)) )-).#)))# )#.! )/ 氨基巯基噻二唑缓蚀剂 23 343 35 6 73 结构的密度泛函计算! ! ! ! ! ! ! # 宋晓岚 !邱冠周 !王海波 !吴雪兰 !曲选辉 ! 中南大学资源加工与生物工程学院#长沙 $ !’ !))01 北京科技大学材料科学与工程学院#北京 #’ !)))01 摘要! 采用密度泛函量子化学计算方法#获得了在 % ! ! # 理论水平上氨基巯 21345 -61!!7 78 #9 :; /* #6 6:6 ! 基 # # 噻二唑!简称种互变异构体的平衡几何构型能量和电荷分布#证实了种互变异构体的所有 6! 1 6 = 原子处于同一平面#且有一种异构体最稳定’研究结果表明( 种异构体中的环骨架具有芳香性# 与 = =? 形成的缓蚀膜层是 ! 与中的和原子分别形成共价键和配位键相互交错而成’计算了 @A @A =? /( #B = 种异构体的谐振频率和红外光谱强度’ 关键词! 抛光液$ $缓蚀剂$密度泛函计算$从头计算 @=5 = 中图分类号! 7 $ 文献标识码! C-!’!# ! ( 1):’# 8#’%1 .*:1%)1#)+ :,-:*-,1%))’1+*:1*+#). 9 9 # # 23,;%%)343;#+:,1)35 6 731%,%=)-#%%%1)+ ! ! ! ! # # #