组件针孔疵病检仪及其算法研究.pdfVIP

硕．1：论文 组件针孔疵稍检测仪及je算法研究 摘 要 三代像增强器是增强微弱光学图像的真空成像器件，是微光夜视技术的核心器件之 一，应用领域广泛。由于GaAsP[,延材料生长及阴极组件研制过程中造成的缺陷，对三代 微光像增强器的成像质量具有一定影响，所以优质的Gahs#t-延材料是实现激活高灵敏度 阴极的先决条件，是提高像增强器成品率的基础。本课题所研究的组件针孔疵病检测仪 可用于对GaAs基片和GaAs阴极组件表面瑕疵进行检测，统计不同区域的瑕疵信息，淘 汰不合格产品，提高组件的性能。 本文阐述了组件针孔疵病检测仪的硬件结构体系，说明了各个硬件的结构和功能； 详细介绍了组件针孔疵病检测仪的软件设计模块，描述了各模块的作用，并实现软硬件 交互。基于目标提取的原则，讨论了图像分割中阈值分割的基本理论和方法，并在此基 础上提出一种可同时对GaAs基片和阴极组件表面瑕疵进行检测的算法；提出海量图片 无缝拼接算法，利用坐标平移和图像缩放实现无缝拼接；为了克服单个瑕疵跨越多张图 片导致的瑕疵个数误计，提出瑕疵整合算法，同时增加描述瑕疵信息的方式，从而准确 而完整地获得GaAs基片或阴极组件