电子级水中微粒的仪器测试方法.docVIP

前 言 GB/T 11446预计结构如下： —— GB/T 11446.1 电子级水电子级水测试方法通则电子级水电阻率的测试方法 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法电子级水中总有机碳的测试方法电子级水中微粒的仪器测试方法电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法GB/T 1.1–2009给出的规则起草。 本部分代替GB/T 11446.9-1997《电子级水中微粒的仪器测试方法 本部分适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的微粒粒径不小于0.05μm，微粒的浓度范围为（0~10000）个／mL。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 11446.1-20xx 电子级水 GB/T 11446.3-20xx 电子级水测试方法通则 术语和定义 GB/T 11446.3-20xx 中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 微粒 particle 粒状物，除去气体，非均匀地分散在水中的非液态物质。 方法原理 一束经聚焦的激光垂直于水样流向方向入射，水中的微粒将产生光散射效应，散射光的强度与微粒的大小具有一定的关系，散射光经聚光镜会聚到光电倍增管，将光信号变成电脉冲，电脉冲的数目和幅度分别与水中微粒的数目和直径成正比。电脉冲信号经放大输入计算机处理后，可直接获得微粒浓度的测量结果。测量原理方框图如图1所示。 图1 微粒测量原理方框图 干扰因素 5.1 采样过程，容器、环境及检测腔的污染，水中的气泡和测量过程的振动，水流速度的变化等因素都会影响测量结果，因此，测量应在100级或100级以上的洁净室内进行。水流速度应稳定。水样不能搅动，取样后应静置30min后再测定。 5.2 环境温度影响分析结果的稳定性，实验室和环境的温度应在10℃~30℃之间。 5.3 仪器正常与否直接影响测定结果，使用时应按国家规定的检定周期进行检定。 6 试剂 6.1 空白用水： GB/T11446.1-20XX 规定的EW-I级电子级水。 7 测量仪器 带有微机的激光散射式亚微米级液体中粒子计数和检测仪器。 8 操作步骤 8.1 仪器测试前的准备 按仪器说明书开启电源，使仪器进入准备工作状态。 8.2 测试方式 8.2.1 连续采样 先用去油洗涤剂清洗管道，再通EW-I级电子水冲洗30min，按仪器连续测试的操作规程进行测试。 8.2.2 单次采样 先用去油洗涤剂清洗采样瓶，再用EW-I级电子级水清洗，然后取采样瓶4/5体积的水样并加盖置于洁净室中备用。采样瓶在取样前，用孔径0.02μm微孔滤膜过滤过的水冲洗数次。取样时应防止外界的污染。然后按仪器单次测试的操作规程进行测量。 9 测量结果计算 按公式（1）计算微粒数浓度： …………………………………………………(1) 式中： P((每升水样中的微粒数，单位为个每升（个／L）； Pi((第i次测量每升水样中的微粒数，单位为个每升（个／L）； n((测量的次数，n≥5。 10 误差分析 本方法的相对偏差小于20%。 11 报告 测试报告应按GB/T 11446.3-20xx给定格式进行编制。 国标 国标 国标 国标 国标 发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 20××-××-××实施 20××-××-××发布 电子级水中微粒的仪器测试方法 Test method for particles in electronic grade water by instrument （报批稿） GB/T 11446.9—20(( 代替GB/T 11446.9—1997 中华人民共和国国家标准 ICS 31-030 L90 He-Ne激光光源 聚光系统 散射腔 聚光系统 光电转换系统 水样 放大系统 信号处理系统 微机输出