光纤定位器件微小孔抛光技术.pdfVIP

维普资讯 第3卷第 2期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．3 No．2 NanotechnologyandPrecisionEngineering Jun．2005 2005年 6月 PolishingM icroHolesof OpticalFiberFerrules FANG Feng-zhou ，RAMESH K，LIU Xiang-dong，LIU Yu-chan，HUANG Han (SingaporeInstituteofManufacturingTechnology，Singapore638075) Abstract：A new methodusingdiamond—coatedwiretopolishthemicroholesonopticalfiberferrulesisproposedinthis paper．Toprovetheproposedmethod，amicrosamplemachineisdesignedandconstructed．A vii)ration stem issuperim— posedonthemachinetoincreasethemachiningefficiencv．A svstematicprocessstud)isconductedtooptimizethemachi— ， ningparameters．Experimentalresultsshow thatthesurfaceroughnessof0．065 I．tm issuccessfullyachie~。ed． Keywords：microhole；wirepolishing；opticalfiberferrule；micromachining ArticleID：1672—6030(2005)02—0146—05 光纤定位器件微小孔抛光技术 房丰洲，RAMESHK，刘向东，刘玉婵，黄 含 (新加坡制造技术研究院，新加坡 638075) 摘 要 ：提 出了利用金刚石涂层的金属线对光纤定位器件上微小孔抛光的新方法．为验证该方法，设计并制造 了一 个微型样机．该机器采用了振动系统以提高加工效率．为优化加工参数进行 了系统的工艺研究．实验结果表明，采 用这种抛光方法加工的微小内孔表面粗糙度可达到0．065 m． 关键词：微JJqL；线抛光；光纤定位器件；微加T Hole isoneO the mostimportantfeaturesin me— Tap~rwire V,brkpicccs chanical，electronic，photonic，and bio-medicalcompo- nents．Inrecentyears，polishingofmicro／smallholesbe- comesincreasinglyimportantasmanymicroholesneedto improve their dimensio