光学表面超精密加工技术.pdfVIP

维普资讯 第 25卷 第 3期 光 学 仪 器 Vo1．25．No．3 2003年 6月 OPT1CAL 1NSTRUMENTS June，2003 文章编号：1005—5630(2003)03—0047—05 光学表面超精密加工技术 张 华，王 文，庞媛媛 (浙江大学现代制造工程研究所，浙江 杭州 310027) 摘要：介绍 了国内外光学器件超精密加工的各种先进方法，重点阐述 了磁流变抛光技 术及其抛光机理和关键技术。并对光学超精密加工技术的发展进行 了展望。 关键词 ：超精密加工；磁流变抛光；光学 中图分类号：TQ171．73 文献标识码 ：A Ultra·precisionmachiningtechnologyofopticalsurface ZH ANG Hua，W ANG W en，PANG Yuan-yuan (InstituteofAdvancedManufacturingEngineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：Theadvancedultra—precision machining technology ofopticalmaterialin theworld is introduced．AndemphasizesMagnetorheologicalFinishing(MRF)，itsmechanism anditskeytechnology． Atthesametime，thefutureofultra—precisionmachining technologyofopticalmaterialisgiven in the paper· Keywords：ultra—precisionmachining；M RF；optics 1 引 言 现代科学技术的不断发展对超光滑表面的需要越来越多，世界各国都在积极研究新的加工方法与技 术，特别是对光学器件的超精密抛光加工进行了大量的研究工作，提出了许多新的超精密加工方法，包括 离 子束加工、在线 电解修整 (ElectrolyticIn—processDressing，EIID)磨削抛光、等离子体辅助抛光 (PlasmaAssistedChemicalEtching，PACE)，磁流变抛光 (MagnetorheologicalFinishing，MRF)等 引。这 些技术成功地实现了光学器件的超精密加工，达到了较高的精度 ，是现在以至今后光学器件超精密加工的 主要方法 。 2 超精密光学表面~u-r技术 近年来，人们对光学器件超精密加工进行了大量的实验研究工作，从而提出了许多新的超精密加工方 法 。 2．1 离子束加工 离子束~jn-r是把中性离子在电场 中加速 ，将这种高速的离子束流射 向工作表面，利用离子束的力学作 用撞击工件表面的原子或分子，将能量直接传给工件材料的原子或分子，使其逸 出表面从而将材料去除。 · 收稿 日期 t2002—11—14 作者简介 ：张 华 (1978一)，男，湖北潜江人，浙江大学硕士研究生，主要从事超精密加工 ，CAD／CAM方面的研究． 维普资讯 ·48 · 光 学 仪 器 第 25卷 离子束加工采用离子碰撞的方法 ，可 以实现以原子为计量单位的纳米级加工，得到质量较高的加工表 面 3【]。1987年，美国学者Wilson等人用Ar 、Kr离子束对石英玻璃、微晶玻璃等进行了表面精整加工，在 直径为 0．3m 的工件上得到了面形精度为 170nm，表面粗糙度