不锈钢离子注入的组织及性能研究.pdfVIP

不锈钢离子注入改性层的组织及性能研究 摘 要 为了实现不锈钢表面的固体润滑 提高不锈钢表面的耐磨性 本文采用等离 子体基离子注入 PBII 技术 在不锈钢基体上制备了注N 层/TiN/注C 层/DLC 最外层为DLC 多层膜以改善DLC 膜与基体之间的结合力 提高基体表面的 承载能力 并用金属蒸气真空弧放电 MEVVA 离子源 在不锈钢上进行多种 离子的复合注入 以增加注入层深度和强化范围 这对于在不锈钢表面获得高硬 度 高耐磨的膜层及此类材料的膜层设计均具有指导意义 对扩展 DLC 膜的应 用范围 实现不锈钢的低摩擦和固体润滑具有重要的实际意义 本文的主要研究 工作如下 采用非平衡磁控溅射离子镀与等离子体基离子注入的综合技术 首次在 9Cr18 不锈钢和1Cr18Ni9Ti 不锈钢上设计和制备注N 层/TiN/注C 层/DLC 系多层 膜 以改善DLC 膜与基体之间的结合 该多层膜实现了层与层之间的成分沿厚 度方向的逐渐过渡 是成分渐变的梯度膜 多层膜表面硬度为18.83GPa 降低了 最外层DLC 膜与基体之间的硬度梯度 与N 注入层相比 该多层膜的微动磨痕 面积减少约20% 粘着磨损和磨粒磨损显著降低 抗微动磨损能力明显提高 采用MEVVA 离子源 在1Cr18Ni9Ti 不锈钢上分别注入W 离子 Co 离子 系统研究离子束流密度 注入剂量对注入层的成分分布 组织结构和摩擦性能的 影响 W 注入层 Co 注入层深度分别约40nm 30nm W 在注入层表面以置换 钨和WO3 形式存在 在注入层内部则以置换钨形式存在 W 注入层 Co 注入层 中均出现大量位错和位错缠结 W 注入层 Co 注入层表面硬度比未注入样品均提高约100% 但W 注入层 降低表面摩擦系数的效果很弱 无法抑制摩擦副两表面间的粘着 耐磨性较差 注入层的主要失效形式为磨屑的剥落和微切削作用 Co 注入层降低表面摩擦系 数的效果很好 其摩擦系数仅为0.20 表现出良好的润滑特性 注入层寿命延长 但由于深度较浅 Co 注入层的主要损失形式仍为粘着剥落和由磨粒磨损引起的 微切削作用 当注入剂量为51017/cm2 束流密度为22ìA/cm2 时 Co 注入层硬 度最高 寿命最长 W 离子注入导致不锈钢表面发生 离子束诱发碳化 现象 出现厚度约50nm 的碳化层 Co 注入层中未发现这种碳化现象 证实这种现象仅可能发生在与碳 亲和力强的金属元素的注入中 XPS 分析表明碳化层中的 C 主要以(FeCr) C 结 7 3 i 构存在 其含量随W 注入剂量的增大而增加 W 注入剂量一定时 随束流密度 的增大先增加后降低 在本文试验参数范围内 束流密度为22ìA/cm2 时C 含量 最大 利用MEVVA 离子源 首次通过Co+C 复合注入方式 在 1Cr18Ni9Ti 不锈 钢样品表面获得一个C 与Co 共存的区域 并对比了不同注入方式对组织结构和 摩擦磨损行为的影响 注入的C 在复合注入层内易于与Fe Cr 发生优先键合 以(FeCr) C 型结构存在 C 与Co 共存区域的出现使注入离子的分布展宽 增加 7 3 了注入层深度 表面硬度和承载能力提高 复合注入层的表面硬度比Co 单独注 入层高20%~40% 而且能够大幅度减少磨屑数量和尺寸 降低表面的磨粒磨损 表现出更佳的耐磨性 同时发现大剂量同时注入比先后注入的耐