双次级永磁同步直线电机定位力的分析和抑制.pdfVIP

II III IIII IIIIIIIIIIIIIIILMHI 摘要 摘要 永磁同步直线电机(PMSLM)，特别是具有双次级结构的PMSLM凭借其高速度、 高精确度、大推力、零法向吸力等诸多优点，被广泛地应用到超精密机床的伺服 系统，推动了生产制造等技术的不断发展，受到了国内外许多专家学者的高度重 视。然而，由齿槽效应和边端效应所引起的定位力是影响超精密机床定位精度及 运动精度的重要因素，定位力的存在制约了PMSLM的发展。因此，本文将双次级 结构的PMSLM作为研究对象，从电机的本体结构入手，对PMSLM的定位力进行了 分析，并对定位力的抑制方法进行了研究，主要研究内容如下： 首先，分析了PMSLM的基本结构及工作原理，采用磁路计算法与能量法相结 合的方法对电机的定位力进行了解析分析，得到了PMSLM定位力的解析表达式。 同时，基于有限元分析方法，建立了双次级结构PMSLM的有限元模型，引入“总 谐波畸变率(THD)”来衡量定位力空间谐波，通过调整5种不同的电机结构参数 来分析不同参数对于定位力幅值以及定位力空间谐波的影响。此外，引入“参数 变化率”这一指标，用来分析不同结构参数的影响效果。综合对比了有限元分析 与解析分析两部分的结果，完成了对有限元模型准确性的验证。 其次，分两步对双次级PMSLM的定位力进行了抑制。第一步是采用正交试验 设计的方法对定位力进行初步的抑制：分别设计了因素水平表和试验计划表，在 对正交试验的结果进行方差分析的基础之上，获得了定位力的初步抑制结果，经 验证，初步抑制后电机的定位力幅值和THD都一定程度的减小了。第二步是采用 磁极错位的方法实现定位力进一步的抑制，详细地分析了不同的磁极错位距离对 于电机平均推力及定位力性能的影响，以定位力幅值与平均推力的比值最小为标 准确定了最佳的磁极错位距离。经有限元分析验证可知，双次级PMSLM定位力抑 制的方法是可行的。 最后，分析和对比了两种常用的定位力测试方法，根据现有的方法及双次级 PMSLM的自身特点，从超精密机床高要求的角度出发，初步设计了用于样机定位 力测试实验的测试装置。 关键词：双次级永磁同步直线电机；解析分析；有限元分析；正交试验设计； 磁极错位法；定位力抑制 Abstract Abstract Permanent linear PMSLMwith magnet synchronousmotor(PMSLM)，especially hasalotof double-secondaryadvantagesincludinghighspeed，highaccuracy,large thrustandzero—normalforceandSO is toservo of on，which system applied machinetool the of ultra-precision widely．Itpromotes manufacturing development andattachesaRention andscholarsathomeand technology great bymanyspecialists abroad．However,detent effectandendeffectisthe force(D