难熔金属及其合金单晶的发展与运用课件.ppt

Thanks 难熔金属及其合金单晶 合作人：李晓梦 何孟杰 田卡 史士钦 一 难熔金属及其合金单晶基本概况 难熔金属一般是指熔点高于1 650℃并有一定储量的金属材料，如W、Mo、Nb、Ta、Hf、Cr、V、Zr、Ti等金属及其合金。新技术的发展已使难熔金属的内涵有了进一步的扩大和延伸，具体来说实际上其已包括以下金属：Zr、Hf、V、Nb、Ta、cr、W、Mo、Ti、Re、Ru、Os、Rh、Ir。但当前作为高温结构材料使用的难熔金属还主要是W、M0、Nb和Ta。难熔金属、合金及其化合物和复合材料由于具有独特的高熔点以及其他一些特有的性能，因此在国民经济中发挥着重要作用，尤其在尖端领域处于重要地位. 与传统多晶结构材料相比，难熔金属单晶材料具有塑性、脆性转变温度低、不存在高温和低温晶界破坏、与核材料有良好的相容性、高温结构性能稳定等优点，可以显著提高零件的稳定性、可靠性和工作寿命。因此被广泛应用于电子、电气、机械、仪表制造、核动力工业和各种高技术研究领域。由于难熔金属单晶是非常有发展前景的高科技材料，因此难熔金属单晶成为各国研究的热点。  目前，俄罗斯、美国等非常重视此类单晶材料的发展。俄罗斯研制出了国际上纯度最高的难熔金属单晶材料和科研样品，如 ＲＲＲ 值（残余电阻率）达到 １０５ 的高纯 Ｗ 单晶 等。但由于此领域多涉及军事应用。 下面主要介绍了难熔金属及其合金单晶的制备技术和发展现状，以及难熔金属及其单晶的发展趋势。 二 难熔金属及其合金单晶的制备方法 单 晶 材 料 的 制 备 方 法 很 多，如 Bridgman（布里奇曼）法、、 Caochralski(乔赫拉尔基斯)法、等离子弧熔炼法和蒲凡法等。采用 Bridgman法、 Caochralski 法提纯和制备难熔金属单晶时，单晶材料不可避免地将被坩埚材料所污染，这非常不利于难熔金属的提纯和单晶生长。能有效提纯和制备难熔金属及其合金单晶的方法是等离子弧熔炼法和蒲凡法，包括电子束悬浮区域熔炼（ ＥＢＦＺＭ）简称电子束区熔法、光束悬浮区域熔炼（ ＯＦＺＭ）简称光束区熔法等。不同制备方法的原理和相应设备彼此间不尽相同，因而各自的工艺参数也不相同。如等离子弧熔炼法制备难熔金属及其合金单晶时，允许用杂质含量高的原料，甚至包括粉状料，因为原料中杂质的净化不仅在熔炼时被去除或蒸发掉，大部分的杂质元素还可借助于其与等离子气体相互作用被去除。然而，这种原料在电子束悬浮区域熔炼中是不允许的，因为在电子束悬浮区域熔炼过程中，大量杂质元素的逸出将直接导致熔炼室内残余压力值的剧增，外部电源功率出现大的波动，熔区的温度梯度急剧增大，致使区域熔炼过程无法进行。 2． 1 电子束悬浮区域熔炼法 电子束悬浮区域熔炼法（ ＥＢＦＺＭ）是制备高纯难熔金属及其合金的经典方法，其原理示意图如图 １。该方法于 ２０ 世纪 ５０ 年代由 Ｐｆａｎｎ Ｗ Ｆ 等人首先提出并应用于难熔金属的提纯和单晶生长。此法的实质是在高真空环境中，原料棒被熔化的狭小区域借助表面张力保持在同一料棒的中间，并在同一方向上沿轴向缓慢移动，熔区内部杂质元素根据分配系数 ｋ 在固体和液体中进行重新分布，从而实现难熔金属的提纯，甚至生长成单晶。电子束悬浮区域熔炼是个复杂的物理化学过程，包括杂质的区域分离，气体的析出和杂质的蒸发等。因此，在区域熔炼过程中金属提纯和单晶生长主要取决于熔区的温度梯度和液态金属化学成分的均匀性，具体表现为熔炼室真空度、原料纯度、熔炼速度、搅拌速度及籽晶品质等。 原理示意图 目前，俄罗斯、美国、我国西北有色金属研究院等均拥有不同功率系列的电子束悬浮区域熔炼炉，其中大功率电子束区域熔炼炉的加热功率可达 ５０ ｋＷ。这些设备的研发与生产能力，代表着当今国际该类设备的领先水平。以 ５０ ｋＷ 电子束悬浮区域熔炼炉为例，整台设备主要包括电源系统、真空系统、熔炼室、旋转和位移系统及电子枪。电源系统的输出功率为 ５０ ｋＷ，工作时高压为 ５０ ｋＶ，电流为 １ Ａ。真空系统能使熔炼室在区域熔炼过程中真空度处于 １０ － ２ ～ １０ － ６ Ｐａ 甚至更高，熔区的电参数可实现反馈调节，从而稳定了高压电源系统，减小了熔区温度梯度，确保了熔区的稳定。旋转和位移系统确保了区域熔炼过程中原料棒的供给和单晶的生长，所生长的单晶尺寸规格可达到 φ４０ ｍｍ × １ ０００ ｍｍ，这同时也和区熔金属的特性有关。电子枪是整台设备的核心部件，其工作寿命对单晶制备非常重要。一般而言，熔炼 Ｎｂ 单晶时，电子枪的工作寿命可达 １００ ～ ２００ ｈ甚至更高，这主要与电子束悬浮区域熔炼炉的各构件设计有关。 该方法的优点是真空环境、加热效率高、温度梯度易于控制、不受坩埚材料污染，但同时表面张力对活性杂质